Phản ứng phun là gì?

Thuốc phun phản ứng là một biến thể của quá trình phun plasma được sử dụng để gửi một màng mỏng vào vật liệu cơ chất.Trong quá trình này, một vật liệu mục tiêu, chẳng hạn như nhôm hoặc vàng, được giải phóng vào một buồng với bầu không khí làm bằng khí phản ứng tích điện dương.Khí này tạo thành một liên kết hóa học với vật liệu đích và được lắng đọng trên vật liệu cơ chất như một hợp chất.Một bầu không khí áp suất thấp được tạo thành từ một khí phản ứng.Bơm đặc biệt trên máy loại bỏ bầu không khí bình thường, được làm bằng carbon, oxy và nitơ trong số các nguyên tố vi lượng khác, và đổ đầy buồng bằng khí, chẳng hạn như argon, oxy hoặc nitơ.Khí phản ứng trong quá trình phun phản ứng có điện tích dương.Vật liệu đích, chẳng hạn như titan hoặc nhôm, sau đó được giải phóng vào buồng, cũng ở dạng khí và tiếp xúc với từ trường cường độ cao.Trường này biến vật liệu mục tiêu thành một ion âm.Vật liệu mục tiêu tích điện âm bị thu hút bởi vật liệu phản ứng tích điện dương và hai yếu tố liên kết trước khi giải quyết trên đế.Theo cách này, màng mỏng có thể được làm bằng các hợp chất như titan-nitride (TIN) hoặc nhôm-oxit (AL2O3).

Phản ứng sẽ làm tăng đáng kể tốc độ mà một màng mỏng có thể được tạo ra từ một hợp chất.Trong khi việc phun plasma truyền thống là phù hợp khi tạo ra một màng mỏng từ một yếu tố duy nhất, các bộ phim ghép mất nhiều thời gian để hình thành.Buộc các hóa chất liên kết như là một phần của quy trình màng mỏng giúp tăng tốc độ mà chúng giải quyết trên đế. Áp suất bên trong buồng phun phản ứng phải được quản lý cẩn thận để tối đa hóa sự phát triển của màng mỏng.Với áp lực thấp, bộ phim mất nhiều thời gian để hình thành.Ở áp suất cao, khí phản ứng có thể đầu độc bề mặt mục tiêu, đó là khi vật liệu đích nhận được điện tích âm.Điều này không chỉ làm giảm tốc độ tăng trưởng cho màng mỏng trên đế dưới đây, mà còn làm tăng tốc độ ngộ độc;Có ít các hạt âm, có ít liên kết hóa học mà chúng có thể hình thành với khí phản ứng tích điện dương và do đó, khí phản ứng càng đầu độc bề mặt đích.Giám sát và điều chỉnh áp lực trong hệ thống giúp ngăn ngừa ngộ độc này và cho phép màng mỏng phát triển nhanh chóng.