Mi az ellipszéter?

Az ellipszometria egy optikai módszer az anyag rendkívül vékony fóliák vagy rétegek vastagságának és optikai tulajdonságainak mérésére.A mérhető tulajdonságok a törésmutató, vagy az, hogy mennyi fény van hajlítva, és a fényelnyelés szintje, úgynevezett abszorpciós együtthatónak .Az ellipszéter egy olyan eszköz, amelyet ezeknek a méréseknek a végrehajtására használnak.

Az ellipszométerek úgy működnek, hogy egy jól definiált fényforrást ragyognak az anyagra és megragadják a reflexiót.A modern ellipszométerek lézereket, általában hélium-neon lézereket használnak forrásként.Az ellipszéter gerenda először egy polarizátoron megy keresztül, így csak egy ismert irányba irányuló fényorientált engedélyt hagyhat.Ezután egy kompenzátornak nevezett eszközön megy keresztül, amely elliptikusan polarizálja a fénysugár.A fennmaradó fényt ezután lepattanják a vizsgált anyagból.

Az elemzés Snell törvényétől függ;Amikor egy fénysugár egy anyagot üt, néhányan azonnal tükröznek, és mások áthaladnak az anyag túloldalán, mielőtt tükröznének.A két reflexió közötti különbség mérésével meghatározható az eszköz vastagsága.A visszavert fény a polarizáció változásán is megy keresztül;Ezt a változást a törésmutató és az abszorpciós együttható kiszámításához használják.A mintát kis számú jól definiált rétegből kell állni.A rétegeknek optikailag homogénnek kell lenniük, minden irányban azonos molekuláris szerkezetűnek kell lenniük, és jelentős mennyiségű fényt tükröznek.Ha ezeknek a követelményeknek valamelyikét megsértik, a szokásos eljárások nem fognak működni.

Az ellipszométerek rendkívül érzékeny eszközök, amelyek képesek mérni olyan vékony rétegeket, mint egy atom.Széles körben használják a félvezető gyártásban, ahol az egymást követő anyagrétegeket kémiailag termesztik egymásra.

Az ellipszometria nem romboló;A folyamat nem befolyásolja az ellipszométerrel mért anyagot.Ennek a tulajdonságnak köszönhetően az ellipszométerek használata a biológiai tudományokban növekszik.A biológiai anyagok sokkal kevésbé egyenletesek, mint a gyártott anyagok, és általában nem rendelkeznek a hagyományos ellipszometriához szükséges fizikai tulajdonságokkal.Új technikákat fejlesztettek ki, mint például a különböző szögekben elrendezett több ellipszométer használata az ilyen anyagokkal való együttműködéshez.