Apa itu Ellipsometer?

Ellipsometry adalah teknik optik untuk mengukur ketebalan dan sifat optik dari film yang sangat tipis, atau lapisan, bahan.Sifat yang dapat diukur adalah indeks bias, atau berapa banyak cahaya yang ditekuk, dan tingkat penyerapan cahaya, yang disebut koefisien penyerapan .Ellipsometer adalah perangkat yang digunakan untuk melakukan pengukuran ini.

Ellipsometer bekerja dengan menyinari sumber cahaya yang terdefinisi dengan baik pada suatu bahan dan menangkap refleksi.Ellipsometer modern menggunakan laser, biasanya laser helium-neon, sebagai sumbernya.Balok ellipsometer pertama kali melewati polarizer sehingga hanya cahaya yang berorientasi pada arah yang diketahui dibiarkan lewat.Kemudian melewati perangkat yang disebut kompensator, yang secara elips mempolarisasi balok cahaya.Lampu yang tersisa kemudian dipantulkan materi yang diteliti.

Analisis tergantung pada hukum Snells;Ketika seberkas cahaya menyentuh suatu bahan, beberapa akan segera memantulkan, dan beberapa akan melewati sisi jauh dari material sebelum memantulkan.Dengan mengukur perbedaan antara dua refleksi, ketebalan perangkat dapat ditentukan.Cahaya yang dipantulkan juga mengalami perubahan polarisasi;Perubahan ini digunakan untuk menghitung indeks bias dan koefisien penyerapan.

Agar elipsometer berfungsi dengan baik, bahan yang diperiksa harus memenuhi sifat fisik tertentu.Sampel harus terdiri dari sejumlah kecil lapisan yang terdefinisi dengan baik.Lapisan harus homogen secara optik, memiliki struktur molekul yang identik di semua arah, dan memantulkan jumlah cahaya yang signifikan.Jika salah satu dari persyaratan ini dilanggar, prosedur standar tidak akan berhasil.

Ellipsometer adalah perangkat yang sangat sensitif, mampu mengukur lapisan setipis satu atom.Mereka banyak digunakan dalam manufaktur semikonduktor di mana lapisan material berturut -turut tumbuh secara kimia satu sama lain.

ellipsometry tidak merusak;Bahan yang diukur oleh elipsometer tidak dipengaruhi oleh proses.Karena fitur ini, penggunaan elipsometer dalam ilmu biologi meningkat.Bahan biologis jauh lebih tidak seragam daripada bahan yang diproduksi, dan umumnya tidak memiliki karakteristik fisik yang diperlukan untuk ellipsometry tradisional.Teknik -teknik baru, seperti menggunakan beberapa elipsometer yang diatur pada sudut yang berbeda, telah dikembangkan untuk bekerja dengan bahan tersebut.