Skip to main content

Mi az a vékony film -elemzés?

A vékonyréteg -elemzés a félvezető filmek vizsgálatának folyamata, amelyeket leggyakrabban mikroprocesszorok és napenergia -alkalmazások előállításában használnak, hogy az anyag megfeleljen a működési előírásoknak.Ezt általában a mikroszkópia különféle formáin keresztül, például a röntgendiffrakció, a pásztázó elektronmikroszkóp elemzés és a gyártási folyamat során végzik.Fontos, hogy a vékony fóliák megfeleljenek a szigorú optikai, elektromos és lerakódási szabványoknak az ezek alapján az alkatrészek alapján, vagy a percek hibái miatt a teljes áramkör támogatása kudarcot vall.Az utolsó vékony film alapú termék létrehozása, a termék elemzése az út során számos lépést is magában foglalhat.A kezdeti szubsztrát előállítási szintjén a vékonyréteg -elemzés magában foglalja az anyagtudományi szempontból a film tulajdonságainak megvizsgálását, ideértve annak vezetőképességét, kristályos szerkezetét, kémiai összetételét és interfész pontjait az elektromos komponensekhez, például a tranzisztorokhoz.Ebben a vékony film-elemzésben az elektron-spektroszkópia különféle formáit használják, beleértve a Rutherford hátsó spektroszkópiát (RBS) az elemi összetétel meghatározására, az Auger elektronspektroszkópiát (AES) a felületi jellemzők elemzésére, és még sok más.Az alkalmazások, például a folyadékkristály kijelzők, a napelemek és az akkumulátorok, mindegyik magában foglalja a saját egyedi vékony film -elemzési lépések sorozatát.A vékony film -technológia szintén elkezdi elmozdulni a szilícium alapanyagától.Rugalmas, vékony film fotovoltaikus (PV), amely a napenergia -alkalmazásokhoz szükséges polivinil -műanyag vegyületeken alapul, napelemes PV -elemzést is igényel, és ezeknek az anyagoknak a vékony film -elemzése eltérő folyamatkészletet foglal magában.A mikroprocesszorokhoz használják, gyakran környezeti változásokon mennek keresztül használat közben, amelyek megkövetelik, hogy tartósabb és tartós hőmérsékleten és más szélsőségek alatt tartson.Ennek eredményeként például a napenergia -háztetők számára szánt anyagok vékony film -elemzése számos tudományos tudományág megvizsgálásával szembesülhet, az anyagtudománytól az alkalmazott fizikáig, a kémiáig és a gépiparban, mielőtt a termék eladásra kész.A vékony film -elemző berendezések és a gyártási folyamatok szempontjából továbbra is kulcsszerepet játszik a vékony filmek minőség -ellenőrzésében.Ez magában foglalja a vékony film -elemzés szükségességét egy tiszta szoba laboratóriumi környezetben, amely mentes napfénytől, valamint a legtöbb por- és levegőben lévő részecskéket, amelyek bármelyike visszafordíthatatlanul károsíthatja a vékony film felületét.A vékonyréteg létrehozásához használt maszkolási, maratási és lerakódási berendezések elsősorban felhasználhatók a vizsgálati esetek futtatására és a késztermék minőségének elemzésére is annak biztosítása érdekében, hogy a folyamat megfelelően kalibrálódjon a funkcionális végtermékek előállításához.