Skip to main content

Wat is het dunne filmproces?

Het dunne filmproces kan een aantal verschillende chemische of fysische procedures omvatten.De meest voorkomende dunne filmverwerkingstechnieken gebruiken vloeistof- of gaschemicaliën, verdampingsmethoden of het sputterproces.Combinaties van deze technieken zijn ook gebruikelijk in het dunne filmproces, waardoor meer controle over de eigenschappen van het eindproduct mogelijk is.Het dunne filmproces kan fysisch of chemisch van aard zijn.

Chemicaliën, in vloeibare of gasvormen, kunnen worden gebruikt om een dunne film te maken.Chemische dampafzetting stelt bijvoorbeeld een materiaal bloot aan een chemische stof die ontleedt of op het materiaal reageert.Er zijn vaak gevaarlijke of vluchtige bijproducten gecreëerd tijdens dit proces, dus labs moeten worden uitgerust om de resulterende chemicaliën te verwijderen.Het verwarmen van het substraat kan de groei van de dunne film tijdens chemische dampafzetting verbeteren.

Verdamping is een ander veel voorkomend dun filmproces.Bij verdamping wordt het doelmateriaal verwarmd totdat het verdampt of sublimeert.Zodra de stof een gas is, wordt deze vrijgegeven in een kamer die het substraat bevat waarop de dunne film zal worden gevormd.De stof raakt het substraat en vormt een dunne film.

Er zijn een aantal verschillende machines die kunnen worden gebruikt om doelmaterialen te verdampen.Deze machines kunnen een doelmateriaal op een verwarmde spoel, plaat of in een verwarmde kamer verwarmen.Stoffen kunnen ook worden verdampt als ze worden getroffen door een straal van elektronen of fotonen met hoge intensiteit, zoals die uitgezonden door een laser.

Het sputterproces, ook wel sputterafzetting of reactieve magnetron sputtering genoemd, is een veelgebruikt dun filmproces.Tijdens dit proces wordt een substraat in een vacuümkamer in een gespecialiseerde machine geplaatst.De lucht wordt uit de kamer gestofferd en het doelmateriaal wordt in de kamer vrijgegeven in de vorm van een gas.Sterke magneten creëren een lading die ervoor zorgt dat het doelmateriaal ioniseert en op het substraat wordt afgezet.Door het substraat heen en weer te bewegen tijdens dit proces zorgt ervoor dat de dunne film gelijkmatig op het oppervlak is verdeeld.

Het dunne filmproces creëert dunne films van verschillende elementen of moleculen die variëren tussen een paar en een paar honderd atomen dik.Dunne films hebben veel toepassingen en zijn veel voorkomende componenten in computers, optische apparaten en als kleurfilters voor camera's en telescopen.Dunne films zijn gewoonlijk gemaakt van titanium, aluminium, goud, zilver en legeringen van deze metalen.Veel voorkomende substraten zijn metalen, kunststoffen, glas en keramiek.