Mi az a porlasztó rendszer?

A porlasztás egy vékony filmlerakódás folyamata, amelyben szilárd célanyagot dobnak ki a szubsztrát felületére, hogy vékony bevonatot képezzenek.A porlasztó rendszer olyan gép, amelyben a permetezési folyamat bekövetkezik.A teljes folyamatot tartalmazza, és lehetővé teszi a felhasználó számára, hogy beállítsa a hőmérsékletet, az energiát, a nyomást, a célt és a szubsztrát anyagokat.

A porlasztást fizikai gőzlerakódásnak nevezik, mivel a vékony filmet fizikai eszközökkel, nem pedig kémiai reakciók révén képezik.Egy porlasztó rendszerben egy vákuumkamra tartalmazza a célanyagot, az energiaforrást és a gázplazmát.A gázt, amely általában nemesgáz, például Argon, nagyon alacsony nyomáson kerül a kamrába, hogy megkezdje a folyamat elindítását.

Az áramforrás elektronokat generál, amelyek bombázzák a gázplazmáta gáz.Ez miatt a gáz ionizálódik és pozitív ionokat képez, amelyeket kationoknak hívnak.Ezek a kationok viszont bombázzák a célanyagot, és kis darabokat dobnak el, amelyek áthaladnak a kamrán, és letétbe helyezik a szubsztrátot.A folyamat könnyen megőrizhető a porlasztórendszerkamrában, mivel a gázplazma ionizációja során extra elektronok szabadulnak fel.A célanyag és a szubsztrát orientációja az egyes gépekre jellemző.Egyes rendszerek a szubsztrát felületével párhuzamos célanyaggal néznek szembe, míg mások mindkét felületet dőlik, hogy eltérő lerakódási mintát képezzenek.Konfokális porlasztás, például a célanyag több egységét egy körben, amely egy fókuszpont felé mutat.Az ilyen típusú rendszerben a szubsztrát ezután egyenletesebb lerakódás céljából el lehet forgatni.

Az áramforrás is változik, mivel egyes rendszerek egyenáramú (DC) energiát használnak, míg mások rádiófrekvenciás (RF) teljesítményt használnak.Az egyik típusú porlasztási rendszer, mágneses porlasztás néven is, magában foglalja a mágneseket a szabad elektronok stabilizálására és még a vékony film lerakódására is.Ezek a módszerek a porlasztási rendszert különféle tulajdonságokat biztosítanak a lerakódás hőmérséklete és sebessége szempontjából.

A porlasztási rendszerek mérete az asztali rendszerektől a nagy gépekig, amelyek nagyobb, mint a hűtőszekrény.A belső kamra szintén változik, de általában sokkal kisebb, mint maga a gép;A legtöbb kamara átmérője kisebb, mint 1 yard (kb. 1 méter).A porlasztási rendszer költsége kevesebb, mint 20 000 dollár dollár (USD), az új vagy egyedi tervezésű rendszer 650 000 USD -ig terjedő USD -ig terjed.