Hệ thống phun là gì?

Nghiêng là một quá trình lắng đọng màng mỏng trong đó vật liệu mục tiêu rắn được đẩy lên bề mặt của chất nền để tạo thành một lớp phủ mỏng.Một hệ thống phun là một máy trong đó xảy ra quá trình phun.Nó chứa toàn bộ quá trình và cho phép người dùng điều chỉnh nhiệt độ, công suất, áp suất, mục tiêu và vật liệu cơ chất.

Xuất được gọi là lắng đọng hơi vật lý, bởi vì màng mỏng được hình thành bằng phương tiện vật lý, thay vì thông qua các phản ứng hóa học.Trong một hệ thống phun, buồng chân không chứa vật liệu đích, nguồn năng lượng và huyết tương khí.Khí, thường là một loại khí cao quý như argon, được đưa vào buồng ở áp suất rất thấp để bắt đầu quá trình.khí.Điều này làm cho khí ion hóa và hình thành các ion dương được gọi là cation.Những cation này lần lượt bắn phá vật liệu mục tiêu, loại bỏ những mảnh nhỏ của nó đi qua buồng và tự đặt trên đế.Quá trình này dễ dàng được duy trì trong buồng hệ thống phun, bởi vì các electron bổ sung được giải phóng trong quá trình ion hóa của plasma khí. Các hệ thống phun khác nhau khác nhau về cấu trúc, nguồn điện, kích thước và giá cả.Định hướng của vật liệu đích và chất nền là đặc trưng cho mỗi máy.Một số hệ thống sẽ đối mặt với vật liệu đích song song với bề mặt của chất nền, trong khi các hệ thống khác sẽ nghiêng một trong hai bề mặt để tạo thành một mô hình lắng đọng khác nhau.Ví dụ, phun đồng tiêu, ví dụ, nhiều đơn vị vật liệu đích trong một vòng tròn hướng về một tiêu điểm.Chất nền trong loại hệ thống này sau đó có thể được xoay để lắng đọng thậm chí nhiều hơn.Một loại hệ thống phun, được gọi là phóng xạ Magnetron, cũng bao gồm các nam châm để ổn định các electron tự do và thậm chí thoát khỏi sự lắng đọng màng mỏng.Các phương pháp này cung cấp cho hệ thống phóng xạ những phẩm chất khác nhau về nhiệt độ và tốc độ lắng đọng. Các hệ thống phun có kích thước từ các hệ thống máy tính để bàn đến các máy lớn lớn hơn tủ lạnh.Buồng bên trong cũng thay đổi kích thước, nhưng thường nhỏ hơn nhiều so với chính máy;Hầu hết các buồng có đường kính nhỏ hơn 1 yard (khoảng 1 mét).Chi phí của một hệ thống cường độ dao động dao động từ dưới 20.000 đô la Mỹ (USD) được sử dụng, lên tới 650.000 USD cho một hệ thống được thiết kế mới hoặc tùy chỉnh.