Τι είναι το λεπτό φιλμ ψεκασμό;

Το ψεκασμό λεπτού φιλμ είναι μια διαδικασία στην οποία εφαρμόζεται μια λεπτή μεμβράνη σε μια επιφάνεια, χτυπώντας τα σωματίδια από μια ξεχωριστή πηγή στόχου.Η διαδικασία γενικά λαμβάνει χώρα σε ένα θάλαμο χαμηλής πίεσης στον οποίο αντλείται το αέριο πλάσμα.Τα θετικά φορτισμένα ιόντα σε αυτό το πλάσμα χτυπούν σωματίδια χωρίς την πηγή στόχου σε μια διαδικασία γνωστή ως ψεκασμό.Αυτά τα σωματίδια μετακινούνται στη συνέχεια στην επιφάνεια του παραλήπτη, γνωστά ως υπόστρωμα, όπου εναποτίθενται σε αυτό με τη μορφή λεπτού μεμβράνης.

Οι δύο κύριες μεθόδους ψεκασμού λεπτών φιλμ είναι άμεσες (DC) ψεκασμό και ραδιοσυχνότητα (RF)ψεκασμό.Στο DC sputtering, ένα άμεσο ρεύμα θετικά χρεώνει το πλάσμα, ενώ το RF sputtering χρησιμοποιεί ραδιοκύματα για να το φορτίσει.Το θετικά φορτισμένο πλάσμα επιταχύνεται σε έναν αρνητικά φορτισμένο στόχο, απελευθερώνοντας σωματίδια του υλικού -στόχου που εναποτίθεται πάνω στο υπόστρωμα.Το DC sputtering περιορίζεται στη χρήση για αγώγιμα υλικά που μπορούν να κρατήσουν ένα ηλεκτρικό ρεύμα, ενώ το RF sputtering είναι κατάλληλο για μονωτικά υλικά.

Καθώς εκτοξεύονται από το υλικό στόχου, τα σωματίδια ταξιδεύουν σε ευθεία γραμμή μέχρι να έρθουν σε επαφή με κάτι.Μερικά από αυτά τα σωματίδια εναποτίθενται στην επιφάνεια που πρέπει να επικαλυφθεί.Τα σωματίδια που ταξιδεύουν σε άλλες κατευθύνσεις μπορούν αντίθετα να εναποτίθενται στα τοιχώματα του θαλάμου ή σε άλλες επιφάνειες μέσα στο θάλαμο. Το αέριο αργού είναι συνήθως το υλικό πλάσματος που χρησιμοποιείται για να χτυπήσει τα σωματίδια απαλλαγμένα από το υλικό στόχου, αλλά μερικές φορές είναι μερικές φορές άλλα αδρανή αέρια όπως νέον ή κρυπτόν.μεταχειρισμένος.Το επιταχυνόμενο πλάσμα μπορεί να χτυπήσει σωματίδια απαλλαγμένα από αυτό το υλικό στόχου με τη μορφή μεμονωμένων ατόμων, ομάδων ατόμων ή ως μόρια.Πολλοί τύποι υλικών ψεκασμού είναι διαθέσιμα για χρήση σε διάφορες εφαρμογές.Το ψεκασμό λεπτών μεμβρανών μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την κατάθεση είτε μεταλλικών είτε μη μεταλλικών μεμβρανών σε υποστρώματα από μέταλλο, γυαλί ή άλλα υλικά.Προϊόντα όπως συμπαγείς δίσκοι και ψηφιακοί δίσκοι βίντεο.Οι ηλεκτρονικές συσκευές ημιαγωγών και τα φωτοβολταϊκά πάνελ κατασκευάζονται επίσης με αυτήν την τεχνολογία.Η χρήση του ψεκασμού λεπτών μεμβρανών έχει επεκταθεί ακόμη και στην κατασκευή φαρμάκων που χορηγούνται στον ασθενή με τη μορφή λεπτού φιλμ.

Υπάρχουν πολλά πλεονεκτήματα στη χρήση αυτής της μεθόδου.Το ψεκασμό λεπτών φιλμ είναι σχετικά γρήγορη σε σύγκριση με άλλες παρόμοιες διαδικασίες.Επιτρέπει επίσης τον καλό έλεγχο του πάχους της μεμβράνης που έχει κατατεθεί.Επιπλέον, τα υλικά -στόχοι δεν χρειάζεται να θερμαίνονται όπως στις διαδικασίες εξάτμισης, έτσι ώστε να μπορούν να διατηρούνται σε χαμηλή θερμοκρασία εάν χρειαστεί.