Mi az a vékony film porlasztása?

A vékony film -porlasztás olyan folyamat, amelynek során vékony fóliát alkalmaznak egy felületre azáltal, hogy a részecskéket külön célforrásról leütik.A folyamat általában egy alacsony nyomású kamrában zajlik, amelybe a gáznemű plazma pumpálódik.Pozitív töltésű ionok ebben a plazma részecskéket a célforrástól mentesek a porlasztásnak nevezett folyamatban.Ezek a részecskék ezután a recipiens felületére utaznak, amelyet szubsztrátnak hívnak, ahol vékony film formájában helyezkednek el rajta.porlasztás.A DC porlasztás esetén egy közvetlen áram pozitívan tölti a plazmát, míg az RF Sputtering rádióhullámokat használ a feltöltéshez.A pozitív töltésű plazma negatív töltésű célpontra gyorsul, felszabadítva a célanyag részecskéit, amelyek a szubsztrátra helyezkednek el.A DC -porlasztást olyan vezetőképes anyagokhoz korlátozják, amelyek elektromos áramot képesek tartani, míg az RF porlasztás megfelelő az anyagok szigetelő anyagához is.

A célanyagból történő kiszabadulásuk során a részecskék egyenes vonalban haladnak, amíg valamivel érintkeznek.Ezeknek a részecskéknek a része a felszínre kerül, amelyet be kell vonni.Ehelyett más irányba haladó részecskék a kamra falain vagy más felületeken helyezkedhetnek el a kamrában.használt.A gyorsított plazma kiütheti a részecskéket ebből a célanyagból egyes atomok, atomcsoportok vagy molekulák formájában.Számos típusú porlasztó anyag elérhető különféle alkalmazásokban.A vékonyrétegű porlasztás felhasználható akár fém, akár nem fémes filmek fémből, üvegből vagy más anyagokból készült szubsztrátokra.Termékek, például kompakt lemezek és digitális videó lemezek.Elektronikus félvezető eszközöket és fotovoltaikus paneleket is gyártanak ezzel a technológiával.A vékony film -porlasztás használata még a gyógyszerek előállításához is kibővült, amelyet vékony film formájában adnak be a betegnek.

Ennek a módszernek a használatának számos előnye van.A vékony film -porlasztás viszonylag gyors más hasonló folyamatokhoz képest.Ez lehetővé teszi a lerakódott film vastagságának megfelelő ellenőrzését is.Ezenkívül a célanyagokat nem kell melegíteni, mint a párolgási folyamatokban, így szükség esetén alacsony hőmérsékleten tarthatók.