Τι είναι το Micromachining Surface;

Η επιφανειακή μικρο -micromachining είναι μια διαδικασία κατασκευής που χρησιμοποιείται για την ανάπτυξη ολοκληρωμένων κυκλωμάτων και αισθητήρων διαφόρων ειδών.Η χρήση επιφανειακών τεχνικών micromachining επιτρέπει εφαρμογές έως και 100 λεπτών εφαρμοσμένων στρώσεων των μοτίβων κυκλώματος σε ένα τσιπ.Σε σύγκριση, μόνο πέντε ή έξι στρώματα είναι δυνατά χρησιμοποιώντας τυποποιημένες διαδικασίες μικρο -micromachining.Αυτό επιτρέπει την ενσωμάτωση πολλών περισσότερων λειτουργιών και ηλεκτρονικών ειδών σε κάθε τσιπ για χρήση σε αισθητήρες κίνησης, επιταχυνσιόμετρα που αναπτύσσουν αερόσακους σε συντριβή οχήματος ή για χρήση σε γυροσκόπια πλοήγησης.Η επιφανειακή μικρο -micromachining χρησιμοποιεί επιλεγμένα υλικά και τόσο υγρές όσο και στεγνές διεργασίες χάραξης για να σχηματίσουν τα στρώματα κυκλωμάτων.

Τα τμήματα κυκλωμάτων που έγιναν χρησιμοποιώντας αυτή τη μέθοδο χρησιμοποιήθηκαν αρχικά σε επιταχυνσιόμετρα, τα οποία εγκατέστησαν αερόσακους σε οχήματα κατά τη στιγμή μιας σύγκρουσης.Οι επιφανειακοί αισθητήρες μικρομεταχών σε οχήματα παρέχουν επίσης προστασία έναντι της μετακίνησης μέσω ελέγχου κλίσης και χρησιμοποιούνται σε συστήματα κατά του κλειδώματος.Αυτό το κύκλωμα χρησιμοποιείται επίσης σε γυροσκόπια υψηλής απόδοσης σε συστήματα ελέγχου καθοδήγησης και συστήματα πλοήγησης.Καθώς το κύκλωμα που παράγεται χρησιμοποιώντας αυτή τη μέθοδο παράγει μικροσκοπικά και ακριβή κυκλώματα, είναι δυνατόν να συνδυαστούν πολλαπλές λειτουργίες σε ένα τσιπ για χρήσεις σε ανίχνευση κίνησης, ανίχνευση ροής και σε ορισμένα ηλεκτρονικά καταναλωτικά.Στη φωτογραφία, κατά τη διάρκεια της μαγνητοσκόπησης με μια βιντεοκάμερα, αυτά τα τσιπ δίνουν σταθεροποίηση εικόνας κατά τη διάρκεια της κίνησης.

Η επιφανειακή διαδικασία μικρο -μηχανισμών χρησιμοποιεί είτε υποστρώματα τσιπ κρυστάλλων πυριτίου ως θεμέλιο πάνω στην κατασκευή στρώσεων, είτε μπορεί να ξεκινήσει φθηνότερα γυαλιά ή πλαστικά υποστρώματα.Συνήθως, το πρώτο στρώμα είναι οξειδίου του πυριτίου, ενός μονωτήρα, ο οποίος είναι χαραγμένος σε ένα επιθυμητό πάχος.Πάνω από αυτό το στρώμα, εφαρμόζεται ένα φωτοευαίσθητο στρώμα φιλμ και εφαρμόζεται υπεριώδη (UV) φως μέσω της επικάλυψης του σχεδίου κυκλώματος.Στη συνέχεια, αυτό το δίσκο αναπτύσσεται, ξεπλένεται και ψήνεται για την ακόλουθη διαδικασία χάραξης.Αυτή η διαδικασία επαναλαμβάνεται πολλές φορές για να εφαρμόσει περισσότερα στρώματα, με προσεκτική παρακολούθηση και ακριβείς τεχνικές χάραξης που εφαρμόζονται σε κάθε στρώμα, για να παραχθούν ο τελικός σχεδιασμός τσιπ.

Η πραγματική επιφανειακή διαδικασία μικρο -συσχετισμού της χάραξης γίνεται από ένα ή ένα συνδυασμό διαφόρων διαδικασιών κατεργασίας.Η υγρή χάραξη γίνεται με τη χρήση υδροφθορικών οξέων για να χαράξει τα σχέδια κυκλώματος σε στρώματα, κόβοντας τα μη προστατευμένα μονωτικά υλικά.Οι μη χαραγμένες περιοχές αυτού του στρώματος στη συνέχεια ηλεκτρολύονται για να απομονώσουν το στρώμα από το επόμενο που εφαρμόζεται.Η ξηρή χάραξη μπορεί να γίνει μόνη της ή σε συνδυασμό με χημική χάραξη, χρησιμοποιώντας ένα ιονισμένο αέριο για να βομβαρδίσει τις περιοχές που πρέπει να χαράσσονται.Οι κατασκευαστές χρησιμοποιούν χάραξη ξηρού πλάσματος όταν ένα μεγάλο τμήμα του στρώματος πρέπει να χαραγμένο σε ένα σχέδιο κυκλώματος.Επιπλέον, ένας άλλος συνδυασμός πλάσματος χλωρίου με αέριο φθορίου μπορεί να παράγει βαθιές κατακόρυφες περικοπές μέσα από τα υλικά κάλυψης μεμβράνης ενός στρώματος, όπως συχνά απαιτείται κατά την παραγωγή τσιπς αισθητήρων μικροακτηρίων.