Mi a száraz maratás?
A száraz maratás a mikroelektronikában és néhány félvezető feldolgozásban alkalmazott két fő maratási folyamat egyike.A nedves maratással ellentétben a száraz maratás nem meríti el a folyékony vegyi anyagokba maratandó anyagot.Ehelyett gáz- vagy fizikai folyamatokat használ a maratáshoz, vagy kis vágású csatornákat hoz létre az anyagban.A száraz maratás drágább, mint a nedves maratás, de lehetővé teszi a nagyobb pontosságot a létrehozott csatornák típusában.
A gyártók gyakran úgy döntenek, hogy a száraz vagy nedves maratási technikák alkalmazása között először a maratott csatornákban megkövetelt pontosságon alapulnak.Ha a csatornáknak különösen mélynek, vagy egy meghatározott formájúnak kell lenniük mdash;mint például a függőleges oldalak és mdash;A száraz maratás kívánatos.A költség azonban szintén megfontolás, mivel a száraz maratási költségek jóval többet, mint a nedves maratás.Általában ostyának hívják a mikroelektronikus feldolgozásban és mdash;nem reaktív anyaggal van borítva, vagy maszkolt.A maszkolás után az anyagot vagy egyfajta plazma maratásnak vetik alá, amely egy gáznemű vegyi anyagnak, például hidrogén -fluoridnak tesz ki, vagy fizikai folyamatoknak, például ionnyaláb őrlésnek van kitéve, amely a maratás gáz felhasználása nélkül hozza létre.
Háromféle plazma maratás létezik.Az első, a reakcióion -maratás (RIE) csatornákat hoz létre egy kémiai reakción keresztül, amely a plazma ionjai és az ostya felülete között fordul elő, amely eltávolítja az ostya kis mennyiségét.A RIE lehetővé teszi a csatornaszerkezet variációját, majdnem egyenestől a teljesen lekerekítettig.A plazma maratás, a gőzfázis második folyamata csak a RIE -től különbözik az egyszerű beállításakor.A gőzfázis azonban kevesebb variációt tesz lehetővé az előállított csatornák típusában.
A harmadik technika, a Sputter Watching, ionokat is használ az ostya maratására.A RIE és a gőzfázisú ionok az ostya felületén ülnek, és reagálnak az anyaggal.A porlasztási maratás ezzel szemben a megadott csatornák kivágására szolgáló ionokkal bombázza az anyagot.
A gyártóknak mindig gyorsan el kell távolítaniuk a maratási folyamat során előállított melléktermékeket.Ezek a melléktermékek megakadályozhatják, hogy a teljes maratás megtörténjen, ha a ostya felületén kondenzálódnak.Gyakran eltávolítják őket úgy, hogy visszatérnek egy gáznemű állapotba, mielőtt a maratási folyamat befejeződik.Anizotropia néven ez a jelenség lehetővé teszi a csatornák maratását anélkül, hogy az ostya maszkolt területeit megérinti a reakció.Általában ez azt jelenti, hogy a reakció függőleges irányban zajlik: