Mi a fizikai gőzlerakódás?

A fizikai gőzlerakódás (PVD) egy olyan folyamat, amelyet vékony fóliák létrehozására használnak, ha egy célanyagot átadnak egy szubsztrátra.Az átadást tisztán fizikai eszközökkel érik el, ellentétben a kémiai gőzlerakódással, amely kémiai reakciókat használ a vékony fóliák létrehozásához.A félvezetőket, a számítógépes chipeket, a kompakt lemezeket (CD -k) és a digitális videó lemezeket (DVD) általában ez a folyamat hozza létre.A párolgási technikák a célanyagot vákuumkamrába helyezik, amely csökkenti a nyomást és növeli a párolgási sebességet.Az anyagot ezután forrásig melegítjük, és a célanyag gáznemű részecskéi a kamra felületén kondenzálódnak, beleértve a szubsztrátot is.Az elektronnyaláb -fűtés során az elektronok sugárzása egy adott területre irányul a célanyagon, ami azt a területet felmelegíti és elpárologtatja.Ez a módszer jó az elpárologtatandó célpontok meghatározására.Az ellenálló fűtés során a célanyagot egy tartályba helyezik, általában volfrámból, és a tartályt nagy elektromos árammal melegítik.A párolgási fizikai gőzlerakódás során alkalmazott fűtési módszer a célanyag jellegétől függően változik.vagy forrás.A folyamat során egy áramot egy gázplazmán keresztül vezetnek, ami pozitív kationokat alakít ki.Ezek a kationok bombázzák a célanyagot, és elütik a kis részecskéket, amelyek a kamrán áthaladnak és letétbe helyezik a szubsztrátot.Egyesek közvetlen áram (DC) energiaforrásokat fognak használni, míg mások rádiófrekvenciás (RF) energiaforrásokat fognak használni.Egyes porlasztó rendszerek mágneseket is alkalmaznak az ionok mozgásának irányítására, míg másoknak mechanizmusuk lesz a célanyag forgatására.

Az öntés a fizikai gőzlerakódás másik fő módszere, és leggyakrabban a polimer célanyagokhoz és a fotolitográfiához használják.-E folyamat során a célanyagot oldószerben oldják, hogy folyadékot képezzenek, amelyet vagy permeteznek, vagy a szubsztrátra forgatják.A fonás magában foglalja a folyadék eloszlását a lapos szubsztrátra, amelyet ezután addig forgatunk, amíg egyenletes réteg kialakul.Amint az oldószer elpárolog, a vékony film befejeződött.