Sự lắng đọng hơi vật lý là gì?

Sự lắng đọng hơi vật lý (PVD) là một quá trình được sử dụng để tạo ra các màng mỏng bằng cách chuyển vật liệu đích lên chất nền.Việc chuyển giao đạt được thông qua các phương tiện vật lý thuần túy không giống như lắng đọng hơi hóa học, sử dụng các phản ứng hóa học để tạo ra các màng mỏng.Chất bán dẫn, chip máy tính, đĩa compact (CD) và đĩa video kỹ thuật số (DVD) thường được tạo ra bởi quá trình này. Có ba loại lắng đọng hơi chính: bay hơi, phun và đúc.Các kỹ thuật bay hơi bắt đầu bằng cách đặt vật liệu mục tiêu vào buồng chân không, làm giảm áp suất và tăng tốc độ bay hơi.Vật liệu sau đó được làm nóng để sôi và các hạt khí của vật liệu đích ngưng tụ trên các bề mặt của buồng, bao gồm cả trên đế.Trong quá trình sưởi ấm chùm electron, một chùm electron được hướng vào một khu vực cụ thể trên vật liệu đích, khiến khu vực đó nóng và bay hơi.Phương pháp này là tốt để kiểm soát các khu vực cụ thể của mục tiêu sẽ bị bay hơi.Trong quá trình gia nhiệt điện trở, vật liệu đích được đặt trong một thùng chứa, thường được làm bằng vonfram và thùng chứa được làm nóng với dòng điện cao.Phương pháp gia nhiệt được sử dụng trong quá trình lắng đọng hơi vật lý thay đổi tùy thuộc vào bản chất của vật liệu đích.hoặc sôi.Trong quá trình, một dòng điện được chạy qua huyết tương khí, khiến các cation dương hình thành.Những cation này bắn phá vật liệu mục tiêu và loại bỏ các hạt nhỏ đi qua buồng và lắng đọng trên đế. Giống như bay hơi, các kỹ thuật phóng xạ khác nhau tùy theo vật liệu mục tiêu.Một số sẽ sử dụng các nguồn năng lượng trực tiếp (DC), trong khi những nguồn khác sẽ sử dụng các nguồn năng lượng tần số vô tuyến (RF).Một số hệ thống phun cũng sử dụng nam châm để điều khiển chuyển động của các ion, trong khi các hệ thống khác sẽ có cơ chế xoay vật liệu đích.

đúc là một phương pháp chính của sự lắng đọng hơi vật lý, và nó được sử dụng phổ biến nhất cho vật liệu đích polymer và quang học.Trong quá trình này, vật liệu đích được hòa tan trong dung môi để tạo thành chất lỏng được phun hoặc phun lên chất nền.Quay liên quan đến việc lan truyền chất lỏng lên đế phẳng, sau đó được quay cho đến khi một lớp chẵn được hình thành.Một khi dung môi bay hơi, màng mỏng đã hoàn tất.