MEMSとは何ですか？

memsは、マイクロメートルで測定されたコンポーネントを持つ機能マシンシステムを指し、マイクロエレクトロメカニカルシステムを表します。MEMSは、多くの場合、従来のマクロスケール機械と未来的なナノマチナリーの間の足がかりと見なされます。MEMS-Precursorsはマイクロエレクトロニクスの形でしばらくの間存在していますが、これらのシステムは純粋に電子的であり、一連の電気衝動以外の処理や出力をすることができません。ただし、最新のMEMSおよび結合技術は、主に統合回路の製造に使用されるのと同じ技術、つまりフォトリソグラフィを採用するフィルムデポジション技術に基づいています。エンジニアや技術者は、有用なタスクを実行するように設計されたより広範な物理構造を合成する能力のもう1つの歓迎の進歩として見ています。ほとんどの場合、MEMSと組み合わせて言及されているのは、化学物質の小さなサンプルを処理し、有用な結果を返すデバイスであるラボオンチップのアイデアです。これは、医療診断の分野で非常に革新的であることが証明される可能性があり、研究室分析により医療カバレッジの追加コスト、診断の遅延、不便な事務処理が発生します。材料は、表面に堆積し、形状にエッチングされるか、基板自体が最終製品を生産するようにエッチングされるバルクマイクロマシンを介してエッチングされます。表面のマイクロマシンは、統合回路の進歩に基づいているため、最も一般的です。メンバーに固有の堆積技術は、犠牲層、製造プロセスの最後に溶解して洗い流されることを意図した材料の層を残し、残りの構造を残します。このプロセスにより、MEMSデバイスは3次元の複雑な構造を持つことができます。さまざまなマイクロスケールギア、ポンプ、センサー、パイプ、アクチュエーターが製造されており、それらのいくつかはすでに日常の商用製品に統合されています。光学、マイクロ流体、個々のニューロンの監視、制御システム、および顕微鏡。現在、生産的なマクロスケールの組み立てラインの順序に生産的なマイクロスケールマシンシステムのようなものはありませんが、そのようなデバイスの発明は時間の問題であるようです。MEMSを使用した製造の見通しはエキサイティングです。なぜなら、このようなシステムのアレイは、同じ量を占め、同じ量のエネルギーを消費するマクロスケールシステムよりもかなり生産的である可能性があるためです。ただし、1つの顕著な制限は、マイクロスケールマシンシステムによって構築されたマクロスケール製品を、主にプレハブマイクロスケールビルディングブロックで構成する必要があることです。