Ano ang bulk micromachining?

Ang bulk micromachining ay isang paraan ng paggawa ng napakaliit na mga sangkap na mekanikal o elektrikal.Ang prosesong ito ay karaniwang gumagamit ng mga wafer ng silikon, ngunit paminsan -minsan ay gumagamit din ng plastik o ceramic material.Ang bulk micromachining ay nagsisimula sa isang solidong piraso at nag -aalis ng materyal hanggang sa maabot nito ang pangwakas na hugis nito, kumpara sa ibabaw ng micromachining, na nagtatayo ng isang layer ng piraso sa pamamagitan ng layer.Ang pinaka -karaniwang pamamaraan para sa pagsasagawa ng bulk micromachining ay sa pamamagitan ng pumipili masking at wet kemikal na solvent.Ang mas bagong alternatibo sa pamamaraang ito ay dry etching gamit ang isang plasma o laser system upang alisin ang hindi kanais -nais na materyal.Ito ay sa pangkalahatan ay mas tumpak kaysa sa basa na etching, ngunit mas mahal din ito.

Ang micromachining ay ang proseso ng paggawa ng talagang maliit na bahagi.Ang mga sangkap na ito ay maaaring maging anumang bagay mula sa isang diode hanggang sa isang may ngipin na gear na ang laki ng isang tip sa panulat.Mayroong dalawang pangunahing paraan ng pagsasagawa ng prosesong ito.Gagamitin ng Surface Micromachining ang mga indibidwal na layer ng isang silikon na wafer upang lumikha ng isang piraso sa tuktok ng isang umiiral na layer.Habang ito ay isang napakahalagang proseso, mas mahirap na gumawa ng ganap na independiyenteng at natatanging mga piraso.

Upang gawin ang mga uri ng mga sangkap, gagamit ng mga tagagawa ang bulk micromachining.Sa maraming mga paraan, ito ay katulad ng pag -ukit ng isang rebulto sa labas ng marmol, sa mas maliit na sukat.Ang isang wafer ng silikon ay naproseso upang alisin ang anumang bahagi na hindi ginustong sa pangwakas na piraso.Ang pagproseso ng bulk ay pupunta mula sa malaki hanggang maliit habang ang pamamaraan ng ibabaw ay napupunta mula sa maliit hanggang sa malaki.

Ang karamihan ng mga bulk micromachining ay gumagamit ng silikon.Ang materyal ay sobrang mura dahil bumubuo ito ng halos isang -kapat ng crust sa mundo.Bilang karagdagan, nagtataglay ito ng isang napakahusay na istraktura ng mala -kristal na maaaring masira sa mga layer na mas payat kaysa sa isang buhok ng tao.Pinapayagan nito ang materyal na gumana sa isang antas ng mikroskopiko pati na rin sa macroscopic.Una, ang piraso ng trabaho ay sakop sa isang materyal na protektahan ito mula sa isang napiling solvent.Ang proteksiyon na mask ay pagkatapos ay selektibong tinanggal upang ilantad ang mga lugar ng piraso na darating.Ang piraso ng trabaho ay nakalantad sa isang solvent, na pagkatapos ay matunaw ang anumang mga hindi protektadong lugar at iwanan ang natitirang buo.Pagkaraan nito, ang natitirang masking material ay tinanggal.

Ang mas bagong pamamaraan para sa bulk micromachining ay tinatawag na dry etching.Gumagamit ito ng isang aparato na may mataas na katumpakan, madalas na isang laser, upang singaw ang hindi kanais-nais na materyal.Kung ihahambing sa proseso ng basa, ito ay maraming mas kaunting mga hakbang at isang kabuuang kakulangan ng potensyal na mapanganib na mga solvent.Ang pangunahing dahilan na ang prosesong ito ay hindi mas sikat ay ang kamag -anak na pagiging bago nito, kung ihahambing sa basa na pamamaraan, at ang gastos ng pagbili ng kagamitan.