Skip to main content

Các loại kính hiển vi quét khác nhau là gì?

Có một số loại kính hiển vi quét bao gồm kính hiển vi điện tử quét, kính hiển vi đường hầm quét và kính hiển vi lực nguyên tử.Thông thường, kính hiển vi quét bao gồm đầu dò hoặc chùm electron quét bề mặt của một mẫu.Sự tương tác giữa kính hiển vi quét và mẫu tạo ra dữ liệu có thể đo lường được, chẳng hạn như sự thay đổi trong dòng điện, độ lệch thăm dò hoặc sản xuất các electron thứ cấp.Dữ liệu này được sử dụng để tạo hình ảnh bề mặt của mẫu ở cấp độ nguyên tử.Kính hiển vi điện tử quét là một trong một số loại kính hiển vi quét được sử dụng để hình ảnh một mẫu.Kính hiển vi phát hiện các tín hiệu do sự tương tác của chùm electron của nó với các nguyên tử trên bề mặt của mẫu.Một số loại tín hiệu thường được tạo ra bao gồm ánh sáng, tia X và electron.Có một số loại electron có thể được đo bằng kính hiển vi này bao gồm các electron truyền, các electron tán xạ ngược và các electron thứ cấp.Thông thường, kính hiển vi điện tử quét có máy dò cho các electron thứ cấp, được đánh bật các electron được tạo ra từ một nguồn phóng xạ chính, cụ thể là chùm electron.Các electron thứ cấp cung cấp thông tin về cấu trúc vật lý của bề mặt ở cấp độ nguyên tử.Nói chung, kính hiển vi hình ảnh một diện tích 1-5 nanomet. Kính hiển vi quét sử dụng đầu dò, chẳng hạn như kính hiển vi đường hầm quét, tạo ra hình ảnh độ phân giải cao hơn so với kính hiển vi điện tử quét.Kính hiển vi đường hầm quét có một đầu dẫn được đặt rất gần với mẫu.Một chênh lệch điện áp giữa đầu dẫn và mẫu làm cho các electron đến đường hầm từ mẫu đến đầu.

Khi các electron chéo, một dòng đường hầm được hình thành và đo.Khi đầu dẫn được di chuyển, các thay đổi hiện tại, phản ánh sự khác biệt về chiều cao hoặc mật độ trên bề mặt của mẫu.Với dữ liệu này, một hình ảnh của bề mặt ở cấp độ nguyên tử được xây dựng.Kính hiển vi lực nguyên tử là một kính hiển vi quét khác có đầu dò.Nó bao gồm một công cụ đúc hẫng và một đầu nhọn được đặt gần bề mặt của mẫu.Khi đầu tiếp cận mẫu, các lực giữa đầu và mẫu khiến cho công cụ đúc hẫng bị lệch.Thông thường các lực bao gồm lực tiếp xúc cơ học, lực van der Waals và lực tĩnh điện.Thông thường, độ lệch của đúc hẫng được đo bằng laser tập trung vào bề mặt trên cùng của đúc hẫng.Độ lệch cho thấy hình dạng vật lý của bề mặt tại một điểm cụ thể.Cả mẫu và đầu dò được di chuyển để quét toàn bộ bề mặt.Một hình ảnh được xây dựng từ dữ liệu thu được từ laser.