Skip to main content

Lắng đọng chân không là gì?

Thuật ngữ lắng đọng chân không mô tả một nhóm các quá trình nhằm đặt các hạt riêng lẻ, cụ thể là các nguyên tử và phân tử, lên một bề mặt.Các quá trình được thực hiện trong chân không để ngăn chặn bất kỳ nhiễu hoặc phản ứng nào với các hạt khí như oxy, có thể phản ứng cao.Một lớp rất mỏng của một chất được áp dụng cho một bề mặt được gọi là phim, trong khi một lớp dày hơn được gọi là lớp phủ.Sự lắng đọng chân không có thể phục vụ nhiều mục đích khác nhau, chẳng hạn như lắng đọng các lớp dẫn điện vào các bề mặt hoặc bảo vệ kim loại khỏi ăn mòn.Quá trình này cũng thường được sử dụng trên các bộ phận ô tô khác nhau cho các mục đích khác nhau như ngăn ngừa rỉ sét và ăn mòn. Các phương pháp lắng đọng chân không được sử dụng phổ biến nhất liên quan đến việc sử dụng hơi.Đôi khi, chất được lắng đọng trên bề mặt bị bốc hơi;Nó sau đó ngưng tụ như một lớp trên bề mặt.Trong các trường hợp khác, các chất hoặc chất hơi phản ứng với bề mặt để tạo thành màng hoặc lớp phủ mong muốn.Trong một số trường hợp, các yếu tố khác như nhiệt độ hoặc mật độ hơi phải được thao tác để có được kết quả mong muốn.Những yếu tố này có thể ảnh hưởng đến độ dày và độ gắn kết của lớp, do đó, điều cần thiết là chúng phải được điều chỉnh chính xác.

lắng đọng hơi vật lý là sự lắng đọng chân không trong đó chỉ xảy ra các quá trình vật lý;Không có phản ứng hóa học.Phương pháp lắng đọng hơi vật lý được sử dụng chủ yếu để bao phủ các bề mặt với màng mỏng;Các chất bốc hơi được ngưng tụ trên bề mặt.Một phương pháp như vậy được gọi là lắng đọng hơi vật lý chùm tia điện tử.Trong sự lắng đọng hơi vật lý của chùm electron, vật liệu được lắng đọng được làm nóng và bốc hơi bằng một chùm electron trước khi nó ngưng tụ trên bề mặt lắng đọng.Một phương pháp phổ biến khác của lắng đọng chân không vật lý là lắng đọng phóng xạ, trong đó khí hoặc hơi được đẩy ra khỏi một số nguồn và hướng vào bề mặt để được phủ.phim mong muốn hoặc lớp phủ.Khí hoặc hơi phản ứng với bề mặt chúng được dự định để phủ trong chân không.Nhiều hóa chất khác nhau, chẳng hạn như silicon nitride hoặc polysilicon, được sử dụng trong các quá trình lắng đọng hơi hóa học khác nhau. Máy hút bụi là một phần thiết yếu của lắng đọng chân không;Nó phục vụ một số vai trò quan trọng.Sự hiện diện của chân không dẫn đến mật độ thấp của các hạt không mong muốn, do đó các hạt nhằm phủ bề mặt không phản ứng hoặc va chạm với bất kỳ hạt gây ô nhiễm nào.Máy hút bụi cũng cho phép các nhà khoa học kiểm soát thành phần chân không của buồng chân không để có thể tạo ra lớp phủ kích thước và tính nhất quán thích hợp.