Skip to main content

Τι είναι το Plasma Etcher;

Ένα Etcher πλάσματος είναι μια συσκευή που χρησιμοποιεί πλάσμα για να δημιουργήσει τις οδούς κυκλώματος που απαιτούνται από τα ενσωματωμένα κυκλώματα ημιαγωγών.Το Plasma Etcher το κάνει αυτό, εκπέμποντας ένα ακριβώς στόχο πίδακα πλάσματος σε ένα δίσκο πυριτίου.Όταν το πλάσμα και το δίσκο έρχονται σε επαφή μεταξύ τους, μια χημική αντίδραση εμφανίζεται στην επιφάνεια του δίσκου.Αυτή η αντίδραση είτε καταθέτει το διοξείδιο του πυριτίου στο δίσκο, δημιουργώντας ηλεκτρικά μονοπάτια, είτε αφαιρεί ήδη παρουσιάζει το διοξείδιο του πυριτίου, αφήνοντας μόνο τις ηλεκτρικές οδούς.ανάλογα με το αν πρόκειται να αφαιρέσει ή να καταθέσει διοξείδιο του πυριτίου.Αυτό επιτυγχάνεται με την πρώτη δημιουργία ενός κενού στο Etcher και δημιουργώντας ένα ηλεκτρομαγνητικό πεδίο υψηλής συχνότητας.Όταν το αέριο διέρχεται από το Etcher, το ηλεκτρομαγνητικό πεδίο διεγείρει τα άτομα στο αέριο, προκαλώντας το να υπερθερμανθεί.

Ως υπερθερμαντήρες αερίου, καταρρέει στα άτομα του βασικού συστατικού του.Η ακραία θερμότητα θα απομακρύνει επίσης τα εξωτερικά ηλεκτρόνια από μερικά από τα άτομα, αλλάζοντας τα σε ιόντα.Μέχρι τη στιγμή που το αέριο αφήνει το ακροφύσιο Etcher Plasma και φτάνει στο δίσκο, δεν υπάρχει πλέον ως αέριο, αλλά έχει γίνει ένα πολύ λεπτό, υπερθερμασμένο πίδακα ιόντων που ονομάζονται πλάσμα.Θα αντιδράσει με το πυρίτιο στο δίσκο, δημιουργώντας διοξείδιο του πυριτίου, ηλεκτρικά αγώγιμο υλικό.Καθώς ο πίδακα του πλάσματος περνά πάνω από την επιφάνεια του δισκίου με έναν ακριβή ελεγχόμενο τρόπο, ένα στρώμα διοξειδίου του πυριτίου που μοιάζει με ένα πολύ λεπτό φιλμ δημιουργείται στην επιφάνεια του.Όταν ολοκληρωθεί η διαδικασία χάραξης, το δισκίο πυριτίου θα έχει μια ακριβή σειρά διαδρομών διοξειδίου του πυριτίου σε αυτό.Αυτά τα κομμάτια θα χρησιμεύσουν ως αγώγιμα μονοπάτια μεταξύ των συστατικών ενός ολοκληρωμένου κυκλώματος.

Etchers πλάσματος μπορούν επίσης να αφαιρέσουν το υλικό από τα πλακίδια.Κατά τη δημιουργία ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, υπάρχουν περιπτώσεις όπου μια δεδομένη συσκευή μπορεί να απαιτεί περισσότερη επιφάνεια του δισκίου για να είναι διοξείδιο του πυριτίου από ό, τι δεν είναι.Σε αυτή την περίπτωση, είναι ταχύτερη και πιο οικονομική η τοποθέτηση ενός δισκίου που έχει ήδη επικαλυφθεί με το υλικό στο Etcher του πλάσματος και να αφαιρέσει το μη απαραίτητο διοξείδιο του πυριτίου.Όταν το πλάσμα φθορίου έρχεται σε επαφή με το διοξείδιο του πυριτίου που επικάλυψε το δίσκο, το διοξείδιο του πυριτίου καταστρέφεται σε χημική αντίδραση.Μόλις ολοκληρώσει το Etcher, μόνο οι μονοπάτια διοξειδίου του πυριτίου που απαιτούνται από το ολοκληρωμένο κύκλωμα παραμένουν.