Mi a reaktív ionmaratás?
A reaktív ionmaratás egy olyan típusú technológia, amelyet a mikroszklikációhoz használnak az ostyákból származó anyagok eltávolítására.Az ostyák kis félvezető csíkok, amelyeket mikrodevonok készítéséhez használnak, és a reaktív ionmaratási technológia biztosítja, hogy azok maradjanak, amelyek negatív hatással lehetnek hatékonyságukra.A mikrofabályozási eljárásokat speciálisan kialakított eszközökkel hajtják végre, amelyek pontosan meghatározzák az eltávolítandó anyagot anélkül, hogy feláldoznák a ostya integritását.A kamra alsó része.Az edény tetején kis lyukak vannak, amelyek bekerülnek a gázba.Különböző típusú gázokat használnak, az adott ostya egyedi követelményeitől függően.
Az induktívan kapcsolt plazma ennek a technológiának egy másik módja.Ezzel az eszközzel a plazmát egy nagyon speciális mágneses mező készíti.Nem ritka, hogy ezzel a módszerrel magas szintű plazmakoncentrációt érjünk el.
A reaktív ionmaratás plazma az anyag olyan állapota, amely kémiailag reakcióképes, és amelyet a szokásos rádiófrekvenciás (RF) elektromágneses mező hozza létre.A plazmán belüli ionok szokatlanul nagy mennyiségű energiával rendelkeznek.Ezek az ionok reagálnak az ostya törmelékére, és arra törekszenek, hogy eltávolítsák a felületén lévő hibákat.Először egy jelentős elektromágneses mezőt küldünk az ostya kamrájába.A mező ezután oszcillál, amely ionizálja az edényben lévő gázmolekulákat és eltávolítja az elektronokat.Ennek eredményeként a plazma megteremtése.
A reaktív ionmaratás a száraz maratásnak nevezett mikroszabályozás eltávolításának szélesebb kategóriájának egyik típusa.Az eltávolítási folyamatban nem használ folyadékot, ellentétben a nedves maratással, amely különféle savakat és vegyi anyagokat használ ugyanazon vég eléréséhez.Mivel a nedves maratás az ostya aláhúzását, valamint a jelentős mennyiségű mérgező hulladékot okozza, a száraz maratás a ostya kémiai eltávolításának népszerűbb módszerévé válik.
A reaktív ionmaratás egyik fő hátránya a költség.A nedves maratási technikákhoz képest sokkal drágább a szükséges speciális berendezések miatt.A száraz maratási folyamatok általában sokkal hatékonyabbak az ostya trükkösebb területeinek elérésében.Fontos azonban megjegyezni, hogy egyes munkák nem követelik meg a maratás ilyen formája által biztosított perc részleteket, és a nedves maratási eljárások ugyanolyan hatékonyan hajthatják végre a feladatot.