Skip to main content

Mi az Auger elektron spektroszkópia?

Az Auger elektron spektroszkópiát (AES) gyakran használják a felület vékony, mikroszkópos rétegének kémiai összetételének meghatározására.Az úgynevezett elektronoknak nevezett részecskék általában az anyagra irányulnak, és az Auger -effektus kiváltására irányulnak, amelyben eltávolítják az atom belső héjából származó elektronot, egy magasabb szintű részecskék veszik fel a helyét, és egy másik elektronot bocsátanak ki.Az ultra-magas vákuumban elvégzett tesztet általában elektronpisztollyal, analizátorral, detektorral és adatrögzítővel hajtják végre.Az információkat általában grafikusan elemezzük;A csúcsok jellege általában segít azonosítani, hogy mely vegyületek vannak jelen a mintában.

Az elektronok gerendáit gyakran használják, bár a röntgenfelvételeket néha inkább felszabadítják.A vizsgált anyag típusa meghatározza, hogy melyiket használják;Például az oxidok lebomlanak, ha magas szintű elektronoknak vannak kitéve.Az anyagok azonosíthatók, mert az Auger elektron energiája általában az elemre jellemző.Az Auger elektron spektroszkópiában a menekülési részecskék általában nem olyan energikus, mint mások.Általában nagyon közel kell lenniük a felülethez, hogy elmenekülhessenek, és az AES során jelenlévő gázok megakadályozhatják, hogy a részecske elérje az érzékelőt.egy lencsé, amely a gerendát fókuszálja.A lencse lehet elektrosztatikus vagy elektromágneses;Az, hogy melyiket használják, a szükséges felbontástól függ.Az auger elektronspektroszkópia technika részét képező elektronenergia -analizátor rendezheti a kibocsátott részecskéket energiaszintjük alapján.Az analizátort akár hengeres tükörként, akár két félgömb alakú koncentrikus héjaként lehet megtervezni.Az adatokat ezután egy grafikon csúcskészleteivel elemezzük.A szkennelések általában néhány percet vesznek igénybe, míg a nagy felbontású mérések akár 25 percet is igénybe vehetnek.A felmérési vizsgálat általában azonosítja, hogy milyen elemek vannak jelen, míg egy másik szkennelés megmondja, hogy az egyes atomok mennyire koncentrálódnak.Ha a gerendát a mintán beolvasják, akkor a mért felület térképét előállíthatjuk.A felületeken lévő elemek azonosítása mellett felhasználható az oxidáció és a korrózió kimutatására is.A hőmérséklet -reakciót és a kapcsolódó fáradtságot AES segítségével lehet elemezni.A technika felhasználható az integrált áramkörök szennyező anyagok ellenőrzésére is, de a folyamat korlátozása az, hogy a vizsgált anyag felületének gyakran károsodnak.