Skip to main content

Quang phổ điện tử Auger là gì?

Quang phổ điện tử Auger (AES) thường được sử dụng để xác định thành phần hóa học của một lớp mỏng, siêu nhỏ của bề mặt.Các hạt gọi là electron thường nhắm vào vật liệu, kích hoạt hiệu ứng khoan, trong đó một electron từ vỏ bên trong của một nguyên tử được loại bỏ, một hạt cấp cao hơn thay thế và một electron khác được phát ra.Được tiến hành trong một khoảng trống cực cao, thử nghiệm thường được thực hiện bằng súng, máy phân tích, máy dò và máy ghi dữ liệu điện tử.Thông tin thường được phân tích bằng đồ họa;Bản chất của các đỉnh thường giúp xác định các hợp chất có trong mẫu. Các chùm electron thường được sử dụng, mặc dù đôi khi tia X được giải phóng thay thế.Các loại vật liệu đang được kiểm tra xác định được sử dụng;Các oxit, ví dụ, có thể xuống cấp nếu tiếp xúc với mức độ cao của các electron.Các chất có thể được xác định vì năng lượng của một electron khoan thường là duy nhất cho phần tử.Trong quang phổ điện tử Auger, các hạt thoát ra thường không tràn đầy năng lượng như các hạt khác.Chúng thường cần rất gần bề mặt để có thể thoát ra và bất kỳ khí nào có trong AES đều có thể ngăn không cho hạt tiếp cận máy dò.Một ống kính tập trung chùm tia.Ống kính có thể là tĩnh điện hoặc điện từ;Cái nào được sử dụng phụ thuộc vào độ phân giải cần thiết.Một máy phân tích năng lượng điện tử là một phần của kỹ thuật quang phổ electron khoan có thể sắp xếp các hạt phát ra theo mức năng lượng của chúng.Máy phân tích có thể được thiết kế dưới dạng gương hình trụ hoặc hai lớp vỏ đồng tâm bán cầu. Các máy dò đơn hoặc đa kênh thường được sử dụng cho quang phổ điện tử khoan.Dữ liệu sau đó được phân tích bằng các bộ đỉnh trên biểu đồ.Quét thường mất vài phút để hoàn thành, trong khi các phép đo độ phân giải cao có thể mất tới 25 phút.Một lần quét khảo sát thường xác định những yếu tố có mặt, trong khi một lần quét khác có thể cho biết các nguyên tử nhất định tập trung như thế nào.Nếu chùm tia được quét qua mẫu, thì một bản đồ của bề mặt đo có thể được tạo ra. Khoa học quang phổ điện tử Auger thường được sử dụng trong nhiều ứng dụng vật lý và hóa học.Ngoài việc xác định các yếu tố trên các bề mặt, nó cũng có thể được sử dụng để phát hiện quá trình oxy hóa và ăn mòn.Phản ứng nhiệt độ và sự mệt mỏi liên quan có thể được phân tích bằng cách sử dụng AE.Kỹ thuật này cũng có thể được sử dụng để kiểm tra các mạch tích hợp cho các chất gây ô nhiễm, nhưng giới hạn của quá trình là thường có thiệt hại cho bề mặt của vật liệu được thử nghiệm.