DC Magnetron Sputtering là gì?

DC Magnetron Sputtering là một trong một số loại phun, đây là phương pháp lắng đọng hơi vật lý của màng mỏng của một vật liệu lên vật liệu khác.Các phương pháp lắng đọng phóng xạ phổ biến nhất được sử dụng trong năm 2011 là cường độ chùm tia ion, xạ đường diode và phóng xạ từ tính DC.Nghiêng có nhiều cách sử dụng khoa học và công nghiệp, và là một trong những quy trình sản xuất phát triển nhanh nhất được sử dụng trong sản xuất hiện đại.

rất đơn giản, phun ra trong buồng chân không, trong đó một chất bị bắn phá với các phân tử khí bị ion hóa thay thế các nguyên tử từ các nguyên tử từ các nguyên tử từ các nguyên tử từchất.Các nguyên tử này bay ra và đánh vào một vật liệu mục tiêu, được gọi là chất nền và liên kết với nó ở cấp độ nguyên tử, tạo ra một màng rất mỏng.Sự lắng đọng phun này được thực hiện ở cấp độ nguyên tử, do đó, màng và chất nền có liên kết gần như không thể phá vỡ và quá trình tạo ra một màng đồng đều, cực kỳ mỏng và hiệu quả về chi phí.Đường dẫn của các nguyên tử bị di dời bay ngẫu nhiên xung quanh buồng chân không.Buồng chứa đầy khí áp suất thấp, argon thường xuyên và một số catốt từ tính cao áp được đặt phía sau mục tiêu vật liệu lớp phủ.Dòng điện áp cao từ các magron trên khí và tạo ra huyết tương năng lượng cao, tấn công mục tiêu vật liệu lớp phủ.Lực được tạo ra bởi các cuộc tấn công ion plasma này làm cho các nguyên tử đẩy ra từ vật liệu phủ và liên kết với chất nền.

Các nguyên tử được đẩy ra trong quá trình phun thường bay qua buồng theo các mẫu ngẫu nhiên.Magnetron tạo ra các từ trường năng lượng cao có thể được định vị và thao tác để thu thập và chứa plasma được tạo ra xung quanh đế.Điều này buộc các nguyên tử bị đẩy ra để di chuyển các đường dẫn dự đoán đến chất nền.Bằng cách kiểm soát đường dẫn của các nguyên tử, tốc độ lắng đọng và độ dày của màng cũng có thể được dự đoán và kiểm soát. Sử dụng các đường phun từ tính DC cho phép các kỹ sư và nhà khoa học tính toán thời gian và quy trình cần thiết để tạo ra các phẩm chất phim cụ thể.Điều này được gọi là kiểm soát quy trình và nó cho phép công nghệ này được sử dụng bởi ngành công nghiệp trong các hoạt động sản xuất hàng loạt.Ví dụ, việc phun nước được sử dụng để tạo ra lớp phủ cho các ống kính quang học được sử dụng trong các vật dụng như ống nhòm, kính viễn vọng và thiết bị visgan hồng ngoại và ban đêm.Ngành công nghiệp máy tính sử dụng đĩa CD và DVD được sản xuất bằng các quy trình tạo ra và ngành công nghiệp bán dẫn sử dụng cường điệu để phủ nhiều loại chip và wafer.và các mặt hàng trang trí được sản xuất bằng quá trình này.Các ngành công nghiệp khác sử dụng các ngành công nghiệp hàng không vũ trụ, phòng thủ và ô tô, các ngành y tế, năng lượng, ánh sáng và thủy tinh, và nhiều ngành khác.Mặc dù đã được sử dụng rộng rãi, ngành công nghiệp vẫn tiếp tục tìm thấy những cách sử dụng mới cho việc tạo ra từ tính DC.