Τι είναι ο στόχος ψεκασμού;

Ένας στόχος ψεκασμού είναι ένα υλικό που χρησιμοποιείται για τη δημιουργία λεπτών μεμβρανών σε μια τεχνική γνωστή ως εναπόθεση ψεκασμού ή εναπόθεση λεπτού φιλμ.Κατά τη διάρκεια αυτής της διαδικασίας, το υλικό στόχου του ψεκασμού, το οποίο αρχίζει ως στερεό, χωρίζεται από αέρια ιόντα σε μικροσκοπικά σωματίδια που σχηματίζουν ψεκασμό και επικαλύπτονται ένα άλλο υλικό, το οποίο είναι γνωστό ως υπόστρωμα.Η εναπόθεση ψεκασμού εμπλέκεται συνήθως στη δημιουργία ημιαγωγών και τσιπ υπολογιστών.Ως αποτέλεσμα, τα περισσότερα υλικά στόχου είναι μεταλλικά στοιχεία ή κράματα, αν και υπάρχουν ορισμένοι διαθέσιμοι κεραμικοί στόχοι που δημιουργούν σκληρές λεπτές επικαλύψεις για διάφορα εργαλεία.και σχήμα.Οι μικρότεροι στόχοι μπορούν να είναι μικρότεροι από μία ίντσα (2,5 cm) σε διάμετρο, ενώ οι μεγαλύτεροι ορθογώνιοι στόχοι φτάνουν πολύ πάνω από ένα ναυπηγείο (0,9 μ.) Σε μήκος.Ορισμένος εξοπλισμός ψεκασμού θα απαιτήσει μεγαλύτερο στόχο ψεκασμού και σε αυτές τις περιπτώσεις, οι κατασκευαστές θα δημιουργήσουν κατακερματισμένους στόχους που συνδέονται με ειδικές αρθρώσεις.

Τα σχέδια των συστημάτων ψεκασμού, των μηχανών που διεξάγουν τη διαδικασία εναπόθεσης λεπτών φιλμ, έχουν γίνει πολύ πιο ποικίλα καιειδικός.Κατά συνέπεια, το σχήμα και η δομή στόχου έχουν αρχίσει να διευρύνονται και στην ποικιλία.Το σχήμα ενός στόχου ψεκασμού είναι συνήθως είτε ορθογώνια είτε κυκλική, αλλά πολλοί προμηθευτές -στόχοι μπορούν να δημιουργήσουν πρόσθετα ειδικά σχήματα κατόπιν αιτήματος.Ορισμένα συστήματα ψεκασμού απαιτούν έναν περιστρεφόμενο στόχο για να παρέχει μια πιο ακριβή, ακόμη και λεπτή μεμβράνη.Αυτοί οι στόχοι διαμορφώνονται όπως οι μακρινοί κύλινδροι και προσφέρουν πρόσθετα οφέλη, συμπεριλαμβανομένων ταχύτερων ταχύτητων εναπόθεσης, λιγότερων ζημιών θερμότητας και αυξημένης επιφάνειας, γεγονός που οδηγεί σε μεγαλύτερη συνολική χρησιμότητα.

Η αποτελεσματικότητα των υλικών στόχων εξαρτάται από διάφορους παράγοντες, συμπεριλαμβανομένης της σύνθεσής τους καιΟ τύπος των ιόντων που χρησιμοποιούνται για να τα σπάσουν.Οι λεπτές μεμβράνες που απαιτούν καθαρά μέταλλα για το υλικό στόχου θα έχουν συνήθως περισσότερη δομική ακεραιότητα εάν ο στόχος είναι όσο το δυνατόν καθαρότερος.Τα ιόντα που χρησιμοποιούνται για να βομβαρδίσουν τον στόχο ψεκασμού είναι επίσης σημαντικά για την παραγωγή ενός αξιοπρεπούς λεπτού φιλμ.Γενικά, το αργό είναι το πρωτεύον αέριο που επιλέγεται για να ιονίζει και να ξεκινά τη διαδικασία ψεκασμού, αλλά για στόχους που έχουν ελαφρύτερα ή βαρύτερα μόρια ένα διαφορετικό ευγενές αέριο, όπως το νέον για ελαφρύτερα μόρια ή το κρυπτό για βαρύτερα μόρια, είναι πιο αποτελεσματικός.Είναι σημαντικό το ατομικό βάρος των ιόντων αερίου να είναι παρόμοιο με εκείνο των μορίων στόχου του ψεκασμού για τη βελτιστοποίηση της μεταφοράς ενέργειας και ορμής, βελτιστοποιώντας έτσι την ομαλότητα του λεπτού μεμβράνης.