Mục tiêu phóng xạ là gì?

Một mục tiêu phóng xạ là một vật liệu được sử dụng để tạo ra các màng mỏng trong một kỹ thuật được gọi là lắng đọng phun, hoặc lắng đọng màng mỏng.Trong quá trình này, vật liệu đích, bắt đầu như một chất rắn, được phá vỡ bởi các ion khí thành các hạt nhỏ tạo thành một loại phun và phủ một vật liệu khác, được gọi là chất nền.Sự lắng đọng phóng xạ thường liên quan đến việc tạo ra chất bán dẫn và chip máy tính.Kết quả là, hầu hết các vật liệu mục tiêu phóng xạ là các yếu tố kim loại hoặc hợp kim, mặc dù có một số mục tiêu gốm có sẵn tạo ra lớp phủ mỏng cứng cho các công cụ khác nhau. Tùy thuộc vào bản chất của màng mỏng được tạo ra, các mục tiêu tăng cường có thể có kích thước rất nhiềuvà hình dạng.Các mục tiêu nhỏ nhất có thể có đường kính nhỏ hơn một inch (2,5 cm), trong khi các mục tiêu hình chữ nhật lớn nhất có chiều dài trên một yard (0,9 m).Một số thiết bị phun sẽ yêu cầu mục tiêu cường độ lớn hơn và trong những trường hợp này, các nhà sản xuất sẽ tạo ra các mục tiêu phân đoạn được kết nối bởi các khớp đặc biệt. Các thiết kế của các hệ thống phun, các máy tiến hành quá trình lắng đọng màng mỏng, đã trở nên đa dạng hơn và trở nên đa dạng hơn vàcụ thể.Theo đó, hình dạng và cấu trúc mục tiêu cũng đã bắt đầu mở rộng trong sự đa dạng là tốt.Hình dạng của một mục tiêu cường độ thường là hình chữ nhật hoặc hình tròn, nhưng nhiều nhà cung cấp mục tiêu có thể tạo ra các hình dạng đặc biệt bổ sung theo yêu cầu.Một số hệ thống phun nước yêu cầu một mục tiêu quay để cung cấp một màng mỏng chính xác hơn.Các mục tiêu này được định hình như các xi lanh dài và mang lại lợi ích bổ sung bao gồm tốc độ lắng đọng nhanh hơn, ít thiệt hại nhiệt và diện tích bề mặt tăng, dẫn đến tiện ích tổng thể lớn hơn.Các loại ion được sử dụng để phá vỡ chúng.Các màng mỏng đòi hỏi kim loại tinh khiết cho vật liệu mục tiêu thường sẽ có tính toàn vẹn cấu trúc hơn nếu mục tiêu là tinh khiết nhất có thể.Các ion được sử dụng để bắn phá mục tiêu phóng xạ cũng rất quan trọng để tạo ra một màng mỏng chất lượng tốt.Nói chung, argon là khí chính được chọn để ion hóa và bắt đầu quá trình phun, nhưng đối với các mục tiêu có các phân tử nhẹ hơn hoặc nặng hơn, một loại khí cao quý khác, chẳng hạn như neon cho các phân tử nhẹ hơn, hoặc Krypton cho các phân tử nặng hơn, hiệu quả hơn.Điều quan trọng đối với trọng lượng nguyên tử của các ion khí tương tự như các phân tử mục tiêu phóng xạ để tối ưu hóa việc truyền năng lượng và động lượng, do đó tối ưu hóa độ đồng đều của màng mỏng.