Mi az a porlasztó cél?

A porlasztási cél egy olyan anyag, amelyet vékony fóliák készítésére használnak egy permetezés vagy vékonyréteg -lerakódás néven ismert technikában.E folyamat során a szilárd anyagként kezdődő porlasztási célanyagot a gáznemű ionok apró részecskékre bontják, amelyek permeteznek és bevonnak egy másik anyagot, amelyet szubsztrátnak hívnak.A porlasztási lerakódás általában részt vesz a félvezetők és a számítógépes chipek létrehozásában.Ennek eredményeként a legtöbb porlasztó célanyag fémes elemek vagy ötvözetek, bár vannak olyan kerámia célok, amelyek edzett vékony bevonatot hoznak létre a különféle szerszámokhoz.és alakja.A legkisebb célok átmérője kevesebb, mint egy hüvelyk (2,5 cm) lehet, míg a legnagyobb téglalap alakú célok jóval egy udvar felett (0,9 m).Egyes porlasztó berendezésekhez nagyobb a porlasztási célra, és ezekben az esetekben a gyártók szegmentált célokat hoznak létre, amelyeket speciális ízületek kötnek össze.különleges.Ennek megfelelően a cél alakja és szerkezete is sokféleségben kezdte meg.A porlasztási cél alakja általában téglalap alakú vagy kör alakú, de sok célszolgáltató kérésre további speciális formákat hozhat létre.Bizonyos porlasztási rendszerekhez forgó célt igényelnek, hogy pontosabb, sőt vékony fóliát biztosítsanak.Ezek a célok hosszú hengerek alakúak, és további előnyöket kínálnak, beleértve a gyorsabb lerakódási sebességeket, a kevesebb hőkárosodást és a megnövekedett felületet, ami nagyobb általános hasznossághoz vezet.a bontáshoz használt ionok típusa.A célanyaghoz tiszta fémeket igénylő vékony fóliák általában nagyobb szerkezeti integritással rendelkeznek, ha a cél a lehető legegyszerűbb.A porlasztási cél bombázására használt ionok szintén fontosak a tisztességes minőségű vékony film előállításához.Általában az argon az elsődleges gáz, amelyet a porlasztási folyamat ionizálására és kezdeményezésére választottak, de azoknak a céloknak, amelyek könnyebb vagy nehezebb molekulákkal rendelkeznek, eltérő nemesgáz, például neon könnyebb molekulákhoz, vagy a nehezebb molekulák kriptonja hatékonyabb.Fontos, hogy a gázionok atomtömege hasonló legyen a porlasztó célmolekulákhoz, hogy optimalizálják az energia és a lendület átvitelét, ezáltal optimalizálva a vékony film egyenletességét.