Τι είναι η εξάτμιση λεπτού φιλμ;

Η εξάτμιση λεπτής μεμβράνης είναι μια διαδικασία φυσικής εναπόθεσης ατμών που χρησιμοποιείται για τη δημιουργία λεπτών μεμβρανών ενός υλικού.Συνηθέστερα χρησιμοποιούμενα για μεταλλικές μεμβράνες και ηλιακές στέγες, η εξάτμιση λεπτού φιλμ χρησιμοποιεί διαφορετικές τεχνολογίες για να εξατμιστεί τα μεγαλύτερα κομμάτια του υλικού σε ένα θάλαμο κενού για να αφήσει πίσω του ένα λεπτό, ακόμη και στρώμα σε μια επιφάνεια.Η πιο ευρέως χρησιμοποιούμενη διαδικασία εξάτμισης λεπτού φιλμ περιλαμβάνει τη θέρμανση και την εξάτμιση του ίδιου του υλικού στόχου, στη συνέχεια, επιτρέποντάς του να συμπυκνωθεί στο υπόστρωμα ή στην επιφάνεια που λαμβάνει το λεπτό φιλμ.Βελτιστοποιημένο για να συντάσσει σωματίδια ατμών και αέρια μειώνοντας την πίεση του αέρα και τη συγκέντρωση άλλων μορίων αέρα.Όχι μόνο αυτό μειώνει την ενέργεια που απαιτείται για να εξατμιστεί, αλλά επιτρέπει επίσης μια πιο άμεση διαδρομή στην περιοχή εναπόθεσης, επειδή τα σωματίδια ατμών δεν αναπηδούν από τόσα άλλα σωματίδια μέσα στον θάλαμο.Η κακή κατασκευή του θαλάμου με περισσότερη πίεση αέρα θα μειώσει αυτά τα αποτελέσματα κενού, προκαλώντας την προκύπτουσα λεπτή μεμβράνη να γίνει λιγότερο ομαλή και ομοιόμορφη.Οι τεχνικές δέσμης ηλεκτρονίων περιλαμβάνουν τη θέρμανση του αρχικού υλικού σε υψηλές θερμοκρασίες, βομβαρδίζοντας το με ένα ρεύμα ηλεκτρονίων, τα οποία κατευθύνονται από ένα μαγνητικό πεδίο.Το Tungsten χρησιμοποιείται συνήθως ως πηγή των ηλεκτρονίων και μπορεί να παράγει περισσότερη θερμότητα για το υλικό από τις τεχνικές εξάτμισης του νήματος.Παρόλο που οι δέσμες ηλεκτρονίων μπορούν να επιτύχουν υψηλότερες θερμοκρασίες, μπορούν επίσης να δημιουργήσουν ακούσιες επιβλαβείς παρενέργειες, όπως οι ακτίνες Χ, οι οποίες θα μπορούσαν ενδεχομένως να βλάψουν τα υλικά μέσα στο θάλαμο.Οι διαδικασίες ανόπτησης μπορούν να εξαλείψουν αυτά τα αποτελέσματα.

Η εξάτμιση του νήματος είναι η δεύτερη μέθοδος για την πρόκληση εξάτμισης στο υλικό και περιλαμβάνει θέρμανση μέσω στοιχείων αντίστασης.Συνήθως η αντίσταση δημιουργείται με το ρεύμα τροφοδοσίας μέσω μιας σταθερής αντίστασης, δημιουργώντας αρκετή θερμότητα για να λιώσει και στη συνέχεια να εξατμίσει το υλικό.Ενώ αυτή η διαδικασία θα μπορούσε να αυξήσει ελαφρώς την πιθανότητα μόλυνσης, μπορεί να δημιουργήσει γρήγορες ρυθμούς εναπόθεσης που ο μέσος όρος σε περίπου 1 nm ανά δευτερόλεπτο.Λίγα βασικά πλεονεκτήματα και μειονεκτήματα.Μερικά από τα μειονεκτήματα περιλαμβάνουν λιγότερη ομοιομορφία επιφάνειας και μειωμένη κάλυψη βημάτων.Τα πλεονεκτήματα περιλαμβάνουν ταχύτερους ρυθμούς εναπόθεσης, ειδικά σε σύγκριση με το ψεκασμό και λιγότερα ιόντα υψηλής ταχύτητας και ηλεκτρόνια, τα οποία είναι συχνές σε διαδικασίες ψεκασμού.