การระเหยของฟิล์มบางคืออะไร?

film การระเหยของฟิล์มบางเป็นกระบวนการของการสะสมไอทางกายภาพที่ใช้ในการสร้างฟิล์มบาง ๆ ของวัสดุที่ใช้กันมากที่สุดสำหรับฟิล์มโลหะและหลังคาโซลาร์, การระเหยของฟิล์มบางใช้เทคโนโลยีที่แตกต่างกันเพื่อระเหยชิ้นส่วนที่ใหญ่กว่าของวัสดุในห้องสูญญากาศเพื่อทิ้งไว้ข้างหลังพื้นผิวบาง ๆกระบวนการที่ใช้กันอย่างแพร่หลายมากที่สุดของการระเหยของฟิล์มบาง ๆ นั้นเกี่ยวข้องกับการทำความร้อนและระเหยวัสดุเป้าหมายเองจากนั้นอนุญาตให้กลั่นตัวบนพื้นผิวหรือพื้นผิวที่ได้รับฟิล์มบาง ๆ

กระบวนการนี้มักจะเริ่มต้นในห้องสูญญากาศที่ปิดผนึกได้รับการปรับให้เหมาะกับการวาดไอและอนุภาคก๊าซโดยการลดแรงดันอากาศและการเบียดเสียดของโมเลกุลอากาศอื่น ๆสิ่งนี้ไม่เพียงลดพลังงานที่จำเป็นในการระเหย แต่ยังช่วยให้เส้นทางโดยตรงไปยังพื้นที่ของการสะสมเนื่องจากอนุภาคไอไม่ได้ถูกตีกลับโดยอนุภาคอื่น ๆ ภายในห้องการก่อสร้างห้องที่ไม่ดีที่มีแรงดันอากาศมากขึ้นจะช่วยลดผลกระทบสูญญากาศเหล่านี้ทำให้ฟิล์มบาง ๆ ทำให้เกิดความราบรื่นและสม่ำเสมอน้อยลง

เป็นสองกลยุทธ์หลักสำหรับการระเหยกลายเป็นไอวัสดุเป้าหมายคือการระเหยของลำแสงอิเล็กตรอนและการระเหยของเส้นใยเทคนิคลำแสงอิเล็กตรอนเกี่ยวข้องกับการให้ความร้อนกับแหล่งที่มาถึงอุณหภูมิสูงโดยการทิ้งระเบิดด้วยกระแสอิเล็กตรอนซึ่งกำกับโดยสนามแม่เหล็กทังสเตนมักจะใช้เป็นแหล่งที่มาของอิเล็กตรอนและสามารถสร้างความร้อนให้กับวัสดุได้มากกว่าเทคนิคการระเหยของเส้นใยแม้ว่าคานอิเล็กตรอนสามารถบรรลุอุณหภูมิที่สูงขึ้น แต่พวกเขายังสามารถสร้างผลข้างเคียงที่เป็นอันตรายโดยไม่ได้ตั้งใจเช่นรังสีเอกซ์ซึ่งอาจทำลายวัสดุภายในห้องกระบวนการหลอมสามารถกำจัดผลกระทบเหล่านี้

การระเหยของเส้นใยเป็นวิธีที่สองสำหรับการกระตุ้นการระเหยในวัสดุและเกี่ยวข้องกับการให้ความร้อนผ่านองค์ประกอบต้านทานโดยปกติแล้วความต้านทานจะถูกสร้างขึ้นโดยการให้อาหารกระแสผ่านตัวต้านทานที่มีเสถียรภาพสร้างความร้อนเพียงพอที่จะละลายแล้วระเหยวัสดุในขณะที่กระบวนการนี้สามารถเพิ่มโอกาสในการปนเปื้อนเล็กน้อย แต่ก็สามารถสร้างอัตราการสะสมที่รวดเร็วซึ่งเฉลี่ยประมาณ 1 นาโนเมตรต่อวินาที

เมื่อเทียบกับวิธีการอื่นของการสะสมไอเช่นการสปัตเตอร์และการสะสมไอสารเคมีการระเหยของฟิล์มบางข้อดีและข้อเสียที่สำคัญเพียงไม่กี่ข้อข้อเสียบางอย่างรวมถึงความสม่ำเสมอของพื้นผิวน้อยลงและการครอบคลุมขั้นตอนลดลงข้อดีรวมถึงอัตราการสะสมที่เร็วขึ้นโดยเฉพาะอย่างยิ่งเมื่อเปรียบเทียบกับการสปัตเตอร์และไอออนความเร็วสูงและอิเล็กตรอนน้อยลงซึ่งบ่อยครั้งในกระบวนการสปัตเตอร์