Mi a plazma porlasztása?

A plazma porlasztása egy olyan módszer, amelyet különféle anyagok vékony fóliáinak készítésére használnak.A plazma porlasztási folyamat során egy célanyagot gáz formájában felszabadítanak egy vákuumkamrába, és nagy intenzitású mágneses mezőnek vannak kitéve.Ez a mező ionizálja az atomokat azáltal, hogy negatív elektromos töltést ad nekik.Miután a részecskék ionizálódtak, egy szubsztrát anyagra szállnak, és felállnak, és egy olyan filmet képeznek, amely elég vékony, hogy néhány és néhány száz részecske vastag.Ezeket a vékony fóliákat számos különféle iparágban használják, ideértve az optikát, az elektronikát és a napenergia -technológiát.Ez a szubsztrát számos különféle anyagból állhat, beleértve a fém, akril, üveg vagy műanyag.A szubsztrát típusát a vékony film tervezett használata alapján választják meg.

A plazma porlasztást vákuumkamrában kell elvégezni.A levegő jelenléte a plazma porlasztási folyamat során lehetetlenné tenné, ha csak egy típusú részecskékből álló filmet szubsztrátumra helyeznének el, mivel a levegő számos különféle részecskéket tartalmaz, beleértve a nitrogént, az oxigént és a szénet.Miután a szubsztrátot a kamrába helyezték, a levegőt folyamatosan szívják ki.Miután a kamrában lévő levegő eltűnik, a célanyagot gáz formájában szabadítják fel a kamrába.A vékony fóliákat, amelyek egyetlen fém elemből állnak, mint például alumínium, ezüst, króm, arany, platina vagy ezek ötvözete, általában ezt a folyamatot használják.Noha sok más típusú vékony fólia létezik, a plazma -porlasztási folyamat a legmegfelelőbb az ilyen típusú részecskékhez.Amint a részecskék belépnek a vákuumkamrába, azokat ionizálni kell, mielőtt egy szubsztrát anyagra telepednek le.

Az erőteljes mágneseket a célanyag ionizálására használják, és plazmává alakítják.Mivel a célanyag részecskéi megközelítik a mágneses mezőt, további elektronokat vesznek fel, amelyek negatív töltést adnak számukra.A célanyag plazma formájában, majd a szubsztrátra esik.A szubsztrátlap körül mozgatva a gép elkaphatja a plazma részecskéket, és sorba állíthatja őket.A vékony fóliák kialakulása akár néhány napig is eltarthat, a film kívánt vastagságától és a célanyag típusától függően.