Thuốc phun plasma là gì?

Sputtering plasma là một kỹ thuật được sử dụng để tạo ra các màng mỏng của các chất khác nhau.Trong quá trình phun plasma, một vật liệu đích, dưới dạng khí, được giải phóng vào buồng chân không và tiếp xúc với từ trường cường độ cao.Trường này ion hóa các nguyên tử bằng cách cho chúng một điện tích âm.Một khi các hạt được ion hóa, chúng hạ cánh trên một vật liệu cơ chất và xếp hàng, tạo thành một màng đủ mỏng để nó có độ dày từ một vài đến vài trăm hạt.Những màng mỏng này được sử dụng trong một số ngành công nghiệp khác nhau, bao gồm quang học, điện tử và công nghệ năng lượng mặt trời. Trong quá trình phun plasma, một tấm nền được đặt trong buồng chân không.Chất nền này có thể bao gồm bất kỳ một số vật liệu khác nhau, bao gồm kim loại, acrylic, thủy tinh hoặc nhựa.Loại chất nền được chọn dựa trên mục đích sử dụng của màng mỏng.

plasma plasma phải được thực hiện trong buồng chân không.Sự hiện diện của không khí trong quá trình phun plasma sẽ khiến không thể gửi một màng chỉ một loại hạt lên chất nền, vì không khí chứa nhiều loại hạt khác nhau, bao gồm nitơ, oxy và carbon.Sau khi chất nền được đặt trong buồng, không khí được hút ra liên tục.Khi không khí trong buồng biến mất, vật liệu đích sẽ được giải phóng vào buồng dưới dạng khí. Chỉ có thể biến các hạt ổn định ở dạng khí có thể được biến thành màng mỏng thông qua việc sử dụng cường độ plasma.Các màng mỏng bao gồm một nguyên tố kim loại duy nhất, chẳng hạn như nhôm, bạc, crom, vàng, bạch kim hoặc hợp kim của chúng thường được tạo ra bằng quá trình này.Mặc dù có nhiều loại màng mỏng khác, quá trình phun plasma phù hợp nhất với các loại hạt này.Khi các hạt vào buồng chân không, chúng phải được ion hóa trước khi chúng ổn định trên vật liệu cơ chất.Nam châm mạnh mẽ được sử dụng để ion hóa vật liệu đích, biến nó thành plasma.Khi các hạt của vật liệu mục tiêu tiếp cận từ trường, chúng chọn thêm các electron, cho chúng một điện tích âm.Vật liệu mục tiêu, dưới dạng huyết tương, sau đó rơi xuống chất nền.Bằng cách di chuyển tấm đế xung quanh, máy có thể bắt các hạt plasma và làm cho chúng xếp hàng.Màng mỏng có thể mất đến một vài ngày để hình thành, tùy thuộc vào độ dày mong muốn của màng và loại vật liệu đích.