Was ist eine Sputtermaschine?

Eine Sputtermaschine ist normalerweise eine kleine, versiegelte Kammer, in der energetische Partikel wie Elektronen ein Quellmaterial bombardieren, das Atome von der Oberfläche ausstreckt.Diese Atome springen dann von den Kammerwänden ab und beschichten ein Probenobjekt in der Kammer.Rasterelektronenmikroskope (SEMs), die auf der elektrischen Leitfähigkeit von Proben beruhen, um Merkmale im Nanometermaßstab anzuzeigen, stützen sich häufig auf eine Sputtermaschine, um biologische Proben mit einer dünnen Platinschicht zum Betrachten zuerst zu beschichten.Andere Verwendungszwecke für die Sputtermaschinen -Technologie umfassen Beschichtungsdünnfilme im Abscheidungsprozess für die Halbleiterindustrie und eine Oberflächenschicht von einem Material weg, um ihre chemische Zusammensetzung zu bestimmen.

Obwohl die Maschinen, für die eine Sputtermaschine eine Probe vorbereitetKomplexe und teure Sputtergeräte müssen nicht sein.Sputtermaschinen können relativ einfache Geräte sein, die nach etablierten physikalischen Prinzipien arbeiten, und es fehlen häufig bewegliche Teile oder die Notwendigkeit einer komplexen Wartung.Sie reichen von kleinen Tischplatten bis zu großen Bodenmodellen.Das Ablagerungsmaterial wird in einer Sputterkammer unter Niederdruck in einen Dampf umgewandelt, normalerweise ein teilweise Vakuum.Der Dampf kondensiert auf dem Substratmaterial in der Kammer, um einen dünnen Film zu bilden.Dieser Film kann nur mehrere Schichten von Atomen oder Molekülen dick sein und wird in direktem Verhältnis zu der Länge des Sputterprozesses dicken.Andere Faktoren in der Dünnfilmdicke sind die Masse jedes beteiligten Materials und das Energieniveau der Beschichtspartikel, die von zehn Elektronenvolt bis zu Tausenden geladen werden können.

geladene Atome, die als Ionen bezeichnet werdenMaschine in einem Prozess, der als potenzielles Sputter bekannt ist.Das Sputtermaterial erhält eine ionische Ladung, die es dann verliert, wenn es mit der Zielfläche wirkt.Im Zusammenhang mit diesem Prozess steht die reaktive Ionenätzung (RIE), die natürlich ionische Materialien in der Untersuchung sekundärer Ionenmassenspektrometer (SIMS) verwendet, um das Vorhandensein von Spurenelementen in Materialien zu analysieren.Die statische SIMS -Verarbeitung wird zu einer so feinen Rate sputtern, dass nur ein Zehntel atomarer Monoschicht von der Zieloberfläche entfernt wird.Es ist daher ein weiteres nützliches Werkzeug in der Nanotechnologieforschung, ebenso wie die Sputtermaschine für die SEM.Sie können auch als sehr feine Methode zum Reinigen und Polieren empfindlicher Komponenten verwendet werden.Teurer Schmuck und Tabellengeschirr wie Goldbesteck können ebenso wie Spezialfilme von Gold und Aluminium eine Sputter -Ablagerung erfahren.