Apa itu mems?

MEMS adalah singkatan dari sistem mikro elektro-mekanis , mengacu pada sistem mesin fungsional dengan komponen yang diukur dalam mikrometer.MEMS sering dipandang sebagai batu loncatan antara mesin makro konvensional dan nanomachinery futuristik.Prekursor MEMS telah ada untuk sementara waktu dalam bentuk mikroelektronika, tetapi sistem ini murni elektronik, tidak mampu memproses atau mengeluarkan apa pun kecuali serangkaian impuls listrik.Namun, teknik fabrikasi MEMS modern sebagian besar didasarkan pada teknologi yang sama yang digunakan untuk memproduksi sirkuit terintegrasi, yaitu teknik deposisi film yang menggunakan fotolitografi.

Sebagian besar dianggap sebagai teknologi yang memungkinkan daripada tujuan itu sendiri, fabrikasi MEMS adalahDilihat oleh para insinyur dan teknolog sebagai kemajuan sambutan lain dalam kemampuan kami untuk mensintesis berbagai struktur fisik yang dirancang untuk melakukan tugas yang bermanfaat.Paling sering disebutkan bersama dengan MEMS adalah gagasan lab-on-a-chip, perangkat yang memproses sampel kecil bahan kimia dan mengembalikan hasil yang bermanfaat.bahan diendapkan pada permukaan dan kemudian terukir untuk membentuk, atau melalui micromachining curah, di mana substrat itu sendiri diukir untuk menghasilkan produk akhir.Micromachining permukaan paling umum karena dibangun di atas kemajuan sirkuit terintegrasi.Unik untuk MEMS, teknik pengendapan kadang -kadang meninggalkan lapisan pengorbanan, lapisan material yang dimaksudkan untuk dilarutkan dan dicuci di ujung proses fabrikasi, meninggalkan struktur yang tersisa.Proses ini memungkinkan perangkat MEMS untuk memiliki struktur yang kompleks dalam 3 dimensi.Berbagai roda gigi mikro, pompa, sensor, pipa, dan aktuator telah dibuat dan beberapa di antaranya sudah terintegrasi ke dalam produk komersial sehari-hari.

Contoh penggunaan MEM modern termasuk printer inkjet, akselerometer dalam mobil, sensor tekanan, presisi tinggiOptik, mikrofluida, pemantauan neuron individu, sistem kontrol, dan mikroskop.Saat ini tidak ada yang namanya sistem mesin mikro yang produktif pada urutan jalur perakitan makrosil yang produktif, tetapi tampaknya penemuan perangkat seperti itu hanya masalah waktu.Prospek manufaktur dengan MEMS sangat menarik karena susunan sistem yang bekerja dalam garis singgung bisa secara substansial lebih produktif daripada sistem makrose yang menempati volume yang sama dan mengonsumsi jumlah energi yang sama.Namun, salah satu batasan yang menonjol adalah bahwa produk makroskal yang dibangun oleh sistem mesin mikro perlu terdiri terutama dari blok bangunan mikro prefabrikasi.