MEMS là gì?

MEMS là viết tắt của các hệ thống cơ điện vi mô

, đề cập đến các hệ thống máy chức năng với các thành phần được đo bằng micromet.MEMS thường được xem như một bước đệm giữa máy móc vĩ mô thông thường và máy tính nano tương lai.Các phần mềm MEMS đã xuất hiện trong một thời gian dưới dạng vi điện tử, nhưng các hệ thống này hoàn toàn là điện tử, không có khả năng xử lý hoặc xuất ra bất cứ thứ gì ngoại trừ một loạt các xung điện.Tuy nhiên, các kỹ thuật chế tạo MEMS hiện đại chủ yếu dựa trên cùng một công nghệ được sử dụng để sản xuất các mạch tích hợp, nghĩa là các kỹ thuật đặt vị trí phim sử dụng quang học.Được các kỹ sư và công nghệ xem là một tiến bộ đáng hoan nghênh khác trong khả năng của chúng tôi để tổng hợp một phạm vi rộng hơn các cấu trúc vật lý được thiết kế để thực hiện các nhiệm vụ hữu ích.Thường được đề cập trong kết hợp với MEMS là ý tưởng về một chip trong phòng thí nghiệm, một thiết bị xử lý các mẫu nhỏ của hóa chất và trả về kết quả hữu ích.Điều này có thể chứng minh khá mang tính cách mạng trong lĩnh vực chẩn đoán y tế, trong đó phân tích phòng thí nghiệm dẫn đến chi phí bổ sung cho bảo hiểm y tế, sự chậm trễ trong chẩn đoán và giấy tờ bất tiện.vật liệu được lắng đọng trên một bề mặt và sau đó khắc để định hình, hoặc thông qua micromachining số lượng lớn, trong đó bản thân chất nền được khắc để tạo ra một sản phẩm cuối cùng.Micromachining bề mặt là phổ biến nhất bởi vì nó xây dựng dựa trên những tiến bộ của các mạch tích hợp.Độc đáo với MEMS, các kỹ thuật lắng đọng đôi khi để lại các lớp hy sinh, các lớp vật liệu có nghĩa là được hòa tan và rửa sạch ở cuối quá trình chế tạo, để lại một cấu trúc còn lại.Quá trình này cho phép một thiết bị MEMS có cấu trúc phức tạp theo 3 chiều.Các bánh răng, máy bơm, cảm biến, đường ống và bộ truyền động khác nhau đã được chế tạo và một số trong số chúng đã được tích hợp vào các sản phẩm thương mại hàng ngày. Ví dụ về việc sử dụng MEM của thời hiện đại bao gồm máy in phun, gia tốc kế trong ô tô, cảm biến áp suất, độ chính xác caoQuang học, vi lỏng, giám sát các tế bào thần kinh riêng lẻ, hệ thống kiểm soát và kính hiển vi.Hiện tại không có hệ thống máy vi mô năng suất nào theo thứ tự các dây chuyền lắp ráp vĩ mô sản xuất, nhưng dường như việc phát minh ra một thiết bị như vậy chỉ là vấn đề thời gian.Triển vọng sản xuất với MEMS rất thú vị vì các mảng của các hệ thống như vậy hoạt động trong tiếp tuyến có thể có năng suất cao hơn đáng kể so với các hệ thống vĩ mô chiếm cùng một khối lượng và tiêu thụ cùng một lượng năng lượng.Tuy nhiên, một giới hạn nổi bật sẽ là các sản phẩm macroscale được xây dựng bởi các hệ thống máy vi mô sẽ cần được cấu tạo chủ yếu từ các khối xây dựng vi mô đúc sẵn.