Ano ang mems?

Ang MEMS ay nakatayo para sa micro electro-mechanical system , na tumutukoy sa mga functional machine system na may mga sangkap na sinusukat sa micrometer.Ang MEMS ay madalas na tiningnan bilang isang hakbang na bato sa pagitan ng maginoo na makinarya ng macroscale at futuristic nanomachinery.Ang mga mems-precursors ay nasa paligid ng isang habang sa anyo ng microelectronics, ngunit ang mga sistemang ito ay puro electronic, hindi kayang pagproseso o pag-output ng anuman kundi isang serye ng mga impulses ng elektrikal.Gayunpaman, ang mga modernong pamamaraan ng mems-fabrication ay higit sa lahat batay sa parehong teknolohiya na ginamit upang gumawa ng mga integrated circuit, iyon ay, mga diskarte sa pag-aalis ng pelikula na gumagamit ng photolithography.Nakita ng mga inhinyero at teknolohista bilang isa pang maligayang pagdating advance sa aming kakayahang mag -synthesize ng isang mas malawak na hanay ng mga pisikal na istruktura na idinisenyo upang maisagawa ang mga kapaki -pakinabang na gawain.Karamihan sa mga madalas na nabanggit kasabay ng MEMS ay ang ideya ng isang lab-on-a-chip, isang aparato na nagpoproseso ng mga maliliit na halimbawa ng isang kemikal at nagbabalik ng mga kapaki-pakinabang na resulta.Ito ay maaaring patunayan ang lubos na rebolusyonaryo sa lugar ng diagnosis ng medikal, kung saan ang pagsusuri sa lab ay nagreresulta sa mga dagdag na gastos para sa saklaw ng medikal, ang mga pagkaantala sa diagnosis at hindi kanais -nais na papeles.ng materyal ay idineposito sa isang ibabaw at pagkatapos ay etched sa hugis, o sa pamamagitan ng bulk micromachining, kung saan ang substrate mismo ay etched upang makabuo ng isang pangwakas na produkto.Ang micromachining sa ibabaw ay pinaka -karaniwan dahil nagtatayo ito sa pagsulong ng mga integrated circuit.Natatanging sa MEMS, ang mga diskarte sa pag -aalis kung minsan ay iniiwan ang mga sakripisyo ng mga sakripisyo, mga layer ng materyal na nangangahulugang matunaw at hugasan sa dulo ng proseso ng katha, na nag -iiwan ng isang natitirang istraktura.Pinapayagan ng prosesong ito ang isang aparato ng MEMS na magkaroon ng kumplikadong istraktura sa 3 sukat.Ang iba't ibang mga mikroscale gears, pump, sensor, tubo, at actuators ay gawa-gawa at ang ilan sa mga ito ay isinama na sa pang-araw-araw na mga produktong komersyal.Optika, microfluidics, pagsubaybay sa mga indibidwal na neuron, control system, at mikroskopya.Sa kasalukuyan ay walang bagay tulad ng isang produktibong sistema ng makina ng mikroscale sa pagkakasunud -sunod ng mga produktibong linya ng pagpupulong ng macroscale, ngunit tila ang pag -imbento ng naturang aparato ay isang oras lamang.Ang pag -asam ng pagmamanupaktura kasama ang MEMS ay kapana -panabik dahil ang mga arrays ng naturang mga sistema na nagtatrabaho sa tangent ay maaaring maging mas produktibo kaysa sa mga sistema ng macroscale na sumasakop sa parehong dami at pag -ubos ng parehong dami ng enerhiya.Ang isang kilalang limitasyon, gayunpaman, ay ang mga produktong macroscale na itinayo ng mga mikroscale machine system ay kailangang mabuo lalo na ng mga prefabricated mikroscale block blocks.