Τι είναι ένας εξατμιστής λεπτής μεμβράνης;

Ένας εξατμιστής λεπτής μεμβράνης είναι ένα μηχάνημα που χρησιμοποιείται για τη δημιουργία λεπτού φιλμ.Με την εξάτμιση ή την εξάσκηση διαφόρων στοιχείων, ένας εξατμιστής λεπτής μεμβράνης μπορεί να καταθέσει εξαιρετικά λεπτά στρώματα ατόμων ή μορίων σε υλικό υποστρώματος.Το μηχάνημα αποτελείται από ένα θάλαμο κενού, ένα στοιχείο θέρμανσης και μια συσκευή που συγκρατεί και μετακινεί ένα υπόστρωμα, ενώ ένα λεπτό φιλμ εναποτίθεται πάνω του.Αυτά είναι η εξάτμιση της εξάτμισης και η εξάτμιση δέσμης ηλεκτρονίων.Και στις δύο αυτές τεχνικές, ένα υλικό στόχου θερμαίνεται σε έναν εξατμιστή λεπτού φιλμ μέχρι να εξατμιστεί ή να εξάγει.Ως φυσικό αέριο, το υλικό στόχου μετακινείται μέσω ενός θαλάμου κενού μέχρι να προσγειωθεί σε ένα υπόστρωμα και σχηματίζει ένα λεπτό φιλμ.Και οι δύο αυτές τεχνικές απαιτούν ότι τα υλικά -στόχοι είναι τόσο σταθερά όσο ένα αέριο.Με αρκετή θερμότητα, το υλικό στόχου εξατμίζεται ή εξάγει.Ο χρυσός και το αλουμίνιο είναι κοινά υλικά στόχου που μπορούν να εξατμιστούν με τη μορφή μεταλλικών καλωδίων, που ονομάζονται νημάτια.Τα υλικά -στόχοι με τη μορφή νηματίων είναι δύσκολο να φορτωθούν σε έναν εξατμιστή και μπορούν να εργαστούν μόνο σε μικρές ποσότητες.Ένας εξατμιστής λεπτής μεμβράνης μπορεί επίσης να χρησιμοποιήσει λεπτές φύλλα ενός υλικού -στόχου, το οποίο συχνά είναι ευκολότερο να εργαστεί και να αποφέρει περισσότερη ύλη όταν εξατμίζεται.

Ορισμένα υλικά -στόχοι είναι ακατάλληλα για την εξάτμιση αντιστάσεων επειδή μπορούν να ρίξουν μεγάλα τμήματα στερεάς ύλης κατά τη διάρκεια της διαδικασίας.Εάν αυτά τα στερεά συγκρουστούν με το λεπτό φιλμ που σχηματίζεται στο υπόστρωμα, μπορούν να το καταστρέψουν.Η εξάτμιση αυτών των υλικών απαιτεί τη χρήση μιας κλεισμένης πηγής θέρμανσης που επιτρέπει την αέρια μορφή του υλικού να διαφεύγει από μικρές οπές ενώ παγιδεύει τμήματα στερεάς ύλης μέσα στον θάλαμο θέρμανσης.

Η εξάτμιση δέσμης ηλεκτρονίων θερμαίνει το υλικό στόχου κατευθύνοντας μια δέσμη υψηλής ενέργειας ηλεκτρόνια σε αυτό.Σε αυτόν τον τύπο εξατμιστή λεπτού φιλμ, το υλικό στόχου διατηρείται σε δροσερή εστία ενώ βομβαρδίζεται με ηλεκτρόνια και θερμαίνεται.Αυτή η διαδικασία είναι χρήσιμη για τα υλικά -στόχους με πολύ υψηλή θερμοκρασία εξάτμισης, επειδή η εστιασμένη δέσμη ενέργειας μπορεί να θερμαίνει το υλικό στόχου χωρίς να θερμαίνει ολόκληρη τη συσκευή.Το δοχείο που συγκρατεί το υλικό στόχου δεν εκτίθεται σε ακραία θερμότητα, οπότε δεν λιώσει ή εξατμίζεται κατά τη διάρκεια της διαδικασίας.Αυτός ο τύπος εξάτμισης λεπτού φιλμ απαιτεί συγκεκριμένο εξοπλισμό και μπορεί να είναι αρκετά δαπανηρός.