Một thiết bị bay hơi phim mỏng là gì?

Một thiết bị bay hơi màng mỏng là một cỗ máy được sử dụng để tạo ra màng mỏng.Bằng cách bay hơi hoặc thăng hoa các yếu tố khác nhau, một thiết bị bay hơi màng mỏng có thể lắng đọng các lớp nguyên tử hoặc phân tử cực kỳ mỏng lên vật liệu cơ chất.Máy bao gồm một buồng chân không, một bộ phận sưởi ấm và một thiết bị giữ và di chuyển một chất nền trong khi một màng mỏng được lắng đọng trên nó. Có hai loại bay hơi chính có thể được sử dụng để tạo ra một màng mỏng.Đây là sự bay hơi điện trở và bay hơi chùm electron.Trong cả hai kỹ thuật này, một vật liệu đích được làm nóng trong một thiết bị bay hơi màng mỏng cho đến khi nó bay hơi hoặc thăng hoa.Là một loại khí, vật liệu đích di chuyển qua buồng chân không cho đến khi nó hạ cánh trên đế và tạo thành một màng mỏng.Cả hai kỹ thuật này đều yêu cầu các vật liệu mục tiêu ổn định như khí. Trong sự bay hơi điện trở, dòng điện được truyền qua vật liệu đích, trở nên nóng khi được cung cấp năng lượng.Với đủ nhiệt, vật liệu mục tiêu bay hơi hoặc thăng hoa.Vàng và nhôm là các vật liệu mục tiêu phổ biến có thể bị bay hơi dưới dạng dây kim loại, được gọi là sợi.Vật liệu mục tiêu dưới dạng sợi rất khó tải lên thiết bị bay hơi và chỉ có thể được làm việc với số lượng nhỏ.Một thiết bị bay hơi màng mỏng cũng có thể sử dụng các tấm mỏng của vật liệu đích, thường dễ làm việc hơn và mang lại nhiều vật chất hơn khi bay hơi.Một số vật liệu mục tiêu là không phù hợp để bay hơi điện trở vì chúng có thể rụng những phần lớn vật chất rắn trong quá trình này.Nếu các chất rắn này va chạm với màng mỏng hình thành trên đế, chúng có thể làm hỏng nó.Làm bay hơi các vật liệu này đòi hỏi phải sử dụng một nguồn sưởi ấm kín cho phép dạng khí của vật liệu thoát ra qua các lỗ nhỏ trong khi bẫy các phần của vật chất rắn trong buồng sưởi ấm.Sự bay hơi của chùm tia điện tử làm nóng vật liệu mục tiêu bằng cách chỉ đạo một chùm các electron năng lượng cao ở nó.Trong loại thiết bị bay hơi màng mỏng này, vật liệu đích được giữ trong một lò sưởi được làm mát trong khi nó bị bắn phá bằng các electron và được làm nóng.Quá trình này rất hữu ích cho các vật liệu đích với nhiệt độ bay hơi rất cao vì chùm năng lượng tập trung có thể làm nóng vật liệu mục tiêu mà không làm nóng toàn bộ thiết bị.Container giữ vật liệu đích không được tiếp xúc với nhiệt độ cực cao, do đó nó không tan chảy hoặc bay hơi trong quá trình.Loại bay hơi màng mỏng này đòi hỏi thiết bị cụ thể và có thể khá tốn kém.