Ano ang isang manipis na evaporator ng pelikula?

Ang isang manipis na evaporator ng pelikula ay isang makina na ginamit upang lumikha ng manipis na pelikula.Sa pamamagitan ng pagsingaw o pag -sublimate ng iba't ibang mga elemento, ang isang manipis na evaporator ng pelikula ay maaaring magdeposito ng sobrang manipis na mga layer ng mga atomo o molekula sa isang materyal na substrate.Ang makina ay binubuo ng isang silid ng vacuum, isang elemento ng pag -init at isang patakaran ng pamahalaan na humahawak at gumagalaw ng isang substrate habang ang isang manipis na pelikula ay idineposito dito.

Mayroong dalawang pangunahing uri ng pagsingaw na maaaring magamit upang lumikha ng isang manipis na pelikula.Ang mga ito ay resistive pagsingaw at pagsingaw ng beam ng elektron.Sa parehong mga pamamaraan na ito, ang isang target na materyal ay pinainit sa isang manipis na evaporator ng pelikula hanggang sa ito ay sumingaw o sublimates.Bilang isang gas, ang target na materyal ay gumagalaw sa isang silid ng vacuum hanggang sa makarating ito sa isang substrate at bumubuo ng isang manipis na pelikula.Parehong mga pamamaraan na ito ay nangangailangan na ang mga target na materyales ay matatag bilang isang gas.Na may sapat na init, ang target na materyal ay sumingaw o sublimates.Ang mga ginto at aluminyo ay karaniwang mga target na materyales na maaaring evaporated sa anyo ng mga metal wire, na tinatawag na mga filament.Ang mga target na materyales sa anyo ng mga filament ay mahirap i -load sa isang evaporator at maaari lamang magtrabaho sa maliit na dami.Ang isang manipis na evaporator ng pelikula ay maaari ring gumamit ng mga manipis na sheet ng isang target na materyal, na madalas na mas madaling magtrabaho at magbunga ng mas maraming bagay kapag sumingaw.

Ang ilang mga target na materyales ay hindi angkop para sa resistive na pagsingaw dahil maaari silang malaglag ang mga malalaking seksyon ng solidong bagay sa panahon ng proseso.Kung ang mga solido na ito ay bumangga sa manipis na pelikula na bumubuo sa substrate, maaari nila itong masira.Ang pagsingaw ng mga materyales na ito ay nangangailangan ng paggamit ng isang nakapaloob na mapagkukunan ng pag -init na nagbibigay -daan sa gas na anyo ng materyal upang makatakas sa pamamagitan ng maliliit na butas habang ang pag -trap ng mga seksyon ng solidong bagay sa loob ng silid ng pag -init.

Ang pagsingaw ng electron beam ay nagpapainit sa target na materyal sa pamamagitan ng pagdidirekta ng isang sinag ng mga mataas na enerhiya na elektron dito.Sa ganitong uri ng manipis na evaporator ng pelikula, ang target na materyal ay pinananatili sa isang pinalamig na apuyan habang binomba ito ng mga electron at pinainit.Ang prosesong ito ay kapaki -pakinabang para sa mga target na materyales na may napakataas na temperatura ng pagsingaw dahil ang nakatuon na sinag ng enerhiya ay maaaring magpainit ng target na materyal nang hindi pinainit ang buong patakaran ng pamahalaan.Ang lalagyan na may hawak na target na materyal ay hindi nakalantad sa matinding init, kaya hindi ito matunaw o sumingaw sa panahon ng proseso.Ang ganitong uri ng manipis na pagsingaw ng pelikula ay nangangailangan ng mga tukoy na kagamitan at maaaring magastos.