Mi az a vékony film párologtató?

A vékony film párologtató egy gép, amelyet vékony film létrehozására használnak.Különböző elemek elpárologtatásával vagy szublimálásával egy vékonyrétegű párologtató rendkívül vékony atomokat vagy molekulákat helyezhet el egy szubsztrát anyagra.A gép egy vákuumkamrából, egy fűtőelemből és egy olyan készülékből áll, amely egy szubsztrátot tart és mozgat, miközben egy vékony film lerakódik.Ezek ellenálló párolgás és elektronnyaláb -párolgás.Mindkét technikában a célanyagot vékony fóliával párologtatóban melegítik, amíg az elpárolog vagy szublimálódik.Gázként a célanyag vákuumkamrán halad át, amíg egy szubsztrátumra nem kerül, és vékony fóliát képez.Mindkét technika megköveteli, hogy a célanyagok ugyanolyan stabilak legyenek, mint a gáz.Elegendő hővel a célanyag elpárolog vagy szublimál.Az arany és az alumínium közös célanyagok, amelyeket fémhuzalok formájában lehet elpárologni, úgynevezett szálaknak.A szálak formájában a célanyagokat nehéz betölteni egy párologtatóra, és csak kis mennyiségben dolgozhatók.A vékony fóliával párologtató célanyag vékony lapjait is használhatja, amelyek gyakran könnyebben dolgozhatnak, és több anyagot eredményeznek, amikor elpárolognak.

Egyes célanyagok nem alkalmasak az ellenálló párolgásra, mivel a folyamat során nagy szilárd anyagrészeket tudnak lerázni.Ha ezek a szilárd anyagok ütköznek a szubsztráton lévő vékony fóliával, akkor tönkretehetik.Ezeknek az anyagoknak az elpárologtatásához zárt fűtési forrás használatát kell használni, amely lehetővé teszi az anyag gáznemű formájának kiszivárgását kis lyukakon keresztül, miközben a fűtőkamrán belüli szilárd anyagrészeket csapdába ejtik.

Az elektronnyaláb -elpárologtatás melegíti a célanyagot azáltal, hogy a nagy energiájú elektronok sugárzását irányítja.Az ilyen típusú vékony fóliával párologtatóban a célanyagot hűtött kandallóban tartják, miközben elektronokkal bombázzák és melegítik.Ez a folyamat hasznos a nagyon magas párolgási hőmérsékletű célanyagokhoz, mivel a fókuszált energiacsatorna melegítheti a célanyagot anélkül, hogy a teljes készüléket melegítené.A célanyagot tartó konténer nem szabad szélsőséges hőnek kitéve, tehát a folyamat során nem olvad vagy elpárolog.Az ilyen típusú vékony film párologtatáshoz speciális berendezéseket igényel, és meglehetősen költséges lehet.