Apa itu mesin sputtering?

Mesin sputtering biasanya merupakan ruang kecil dan tertutup di mana partikel -partikel energik seperti elektron membombardir bahan sumber yang mengeluarkan atom dari permukaan.Atom -atom ini kemudian memantul dari dinding ruang, melapisi objek sampel di dalam ruang.Memindai mikroskop elektron (SEMS), yang mengandalkan konduktivitas listrik sampel untuk melihat fitur pada skala nanometer, sering mengandalkan mesin sputtering untuk melapisi sampel biologis dengan lapisan tipis platinum terlebih dahulu untuk dilihat.Penggunaan lain untuk teknologi mesin sputtering termasuk pelapisan film tipis dalam proses deposisi untuk industri semikonduktor dan untuk mengukir lapisan permukaan dari suatu bahan untuk menentukan komposisi kimianya.

Meskipun mesin di mana mesin sputtering menyiapkan sampel bisa sangatPeralatan yang kompleks dan mahal, sputtering tidak harus.Mesin sputtering dapat berupa perangkat yang relatif sederhana yang beroperasi pada prinsip -prinsip fisik yang sudah mapan, dan seringkali tidak memiliki bagian yang bergerak atau kebutuhan untuk pemeliharaan yang kompleks.Ukurannya berkisar dari perangkat atas meja kecil hingga model lantai besar.

Deposisi uap fisik adalah salah satu metode rutin yang digunakan dalam desain mesin sputtering.Bahan deposisi dikonversi menjadi uap di ruang sputter di bawah tekanan rendah, biasanya vakum parsial.Uap mengembun ke bahan substrat di dalam ruang untuk membentuk film tipis.Film ini hanya dapat berupa beberapa lapisan atom atau molekul tebal, dan akan menebal proporsi langsung dengan berapa lama proses sputtering dilanjutkan.Faktor-faktor lain dalam ketebalan film tipis termasuk massa masing-masing bahan yang terlibat dan tingkat energi partikel pelapis, yang dapat diisi dari puluhan elektron volt hingga ribuan.

atom bermuatan yang dikenal sebagai ion juga digunakan oleh sputteringmesin dalam proses yang dikenal sebagai sputtering potensial.Bahan sputter diberikan muatan ionik yang kemudian hilang ketika berdampak pada permukaan target.Terkait dengan proses ini adalah Etsa Ion Reaktif (RIE), yang menggunakan bahan ionik alami dalam penelitian spektrometerasi massa ion sekunder (SIMS), untuk menganalisis keberadaan elemen jejak dalam bahan.Pemrosesan Sims statis akan tergagap ke tingkat yang baik sehingga hanya sepersepuluh monolayer atom yang akan dihilangkan dari permukaan target.Oleh karena itu, alat lain yang berguna dalam penelitian nanoteknologi seperti halnya mesin sputtering untuk SEM.

Penggunaan lain untuk mesin sputtering termasuk melapisi kaca datar, akrilik, dan plastik lainnya, serta keramik dan kristal selain silikon.Mereka juga dapat digunakan sebagai metode pembersihan dan pemolesan komponen yang sangat halus.Perhiasan dan peralatan makan yang mahal seperti peralatan makan emas juga dapat menjalani deposisi yang sputter, seperti halnya film khusus emas dan aluminium.