Skip to main content

Ano ang isang sputtering machine?

Ang isang sputtering machine ay karaniwang isang maliit, selyadong silid kung saan ang mga masiglang particle tulad ng mga electron ay nagbabomba ng isang mapagkukunan na materyal na nag -aalis ng mga atoms mula sa ibabaw.Ang mga atom na ito pagkatapos ay bounce off ng mga pader ng silid, na patong ng isang sample na bagay sa loob ng silid.Ang pag -scan ng mga mikroskopyo ng elektron (SEMS), na umaasa sa elektrikal na kondaktibiti ng mga sample upang matingnan ang mga tampok sa isang scale ng nanometer, madalas na umaasa sa isang sputtering machine upang mag -coat ng mga biological sample na may isang manipis na layer ng platinum muna para sa pagtingin.Ang iba pang mga gamit para sa teknolohiya ng sputtering machine ay may kasamang patong manipis na pelikula sa proseso ng pag -aalis para sa industriya ng semiconductor at upang mag -etch ng isang layer ng ibabaw na malayo sa isang materyal upang matukoy ang komposisyon ng kemikal.

Kahit na ang mga makina kung saan naghahanda ang isang sputtering machine ng isang sample ay maaaring maging napakakumplikado at mahal, ang mga sputtering kagamitan ay hindi dapat.Ang mga sputtering machine ay maaaring medyo simpleng aparato na nagpapatakbo sa itinatag na mga prinsipyo ng pisikal, at madalas na kulang sa paglipat ng mga bahagi o ang pangangailangan para sa kumplikadong pagpapanatili.Saklaw ang mga ito sa laki mula sa maliit na talahanayan ng tuktok na aparato hanggang sa mga malalaking modelo ng sahig.

Ang pisikal na pag -aalis ng singaw ay isang regular na pamamaraan na ginagamit sa disenyo ng sputtering machine.Ang materyal na pag -aalis ay na -convert sa isang singaw sa isang silid ng sputter sa ilalim ng mababang presyon, karaniwang isang bahagyang vacuum.Ang singaw ay nakalagay sa materyal na substrate sa silid upang makabuo ng isang manipis na pelikula.Ang pelikulang ito ay maaaring maging maraming mga layer lamang ng mga atomo o molekula na makapal, at makapal sa direktang proporsyon kung gaano katagal ang proseso ng sputtering.Ang iba pang mga kadahilanan sa kapal ng manipis na film ay kasama ang masa ng bawat materyal na kasangkot at ang antas ng enerhiya ng mga particle ng patong, na maaaring sisingilin mula sa sampu-sampung mga elektron volts hanggang sa libu-libo.makina sa isang proseso na kilala bilang potensyal na sputtering.Ang materyal na sputter ay binibigyan ng isang ionic na singil na kung saan pagkatapos ay mawawala kapag nakakaapekto ito sa target na ibabaw.Kaugnay sa prosesong ito ay reaktibo ion etching (RIE), na gumagamit ng natural na mga materyales na ionic sa pangalawang ion mass spectrometery (SIMS) na pananaliksik, upang pag -aralan ang pagkakaroon ng mga elemento ng bakas sa mga materyales.Ang pagproseso ng Static SIMS ay mag -udyok sa tulad ng isang pinong rate na lamang ng isang ikasampung bahagi ng isang atomic monolayer ay aalisin mula sa target na ibabaw.Samakatuwid, ito ay isa pang kapaki -pakinabang na tool sa pananaliksik ng nanotechnology tulad ng sputtering machine para sa SEM.

Ang iba pang mga gamit para sa isang sputtering machine ay may kasamang coating flat glass, acrylics, at iba pang plastik, pati na rin ang mga keramika at kristal maliban sa silikon.Maaari rin silang magamit bilang isang napakahusay na paraan ng paglilinis at buli ng maselan na mga sangkap.Ang mamahaling alahas at kagamitan tulad ng gintong cutlery ay maaari ring sumailalim sa isang sputter deposition, tulad ng maaaring dalubhasang ginto at aluminyo na pelikula.