Máy phun là gì?

Một máy phun thường là một buồng nhỏ, kín trong đó các hạt năng lượng như electron bắn phá một vật liệu nguồn đẩy các nguyên tử ra khỏi bề mặt.Những nguyên tử này sau đó bật ra khỏi các bức tường buồng, phủ một đối tượng mẫu bên trong buồng.Kính hiển vi điện tử quét (SEMS), dựa vào độ dẫn điện của các mẫu để xem các tính năng ở thang đo nanomet, thường dựa vào máy phun để phủ các mẫu sinh học với một lớp bạch kim mỏng trước tiên để xem.Các ứng dụng khác cho công nghệ máy phun bao gồm lớp phủ màng mỏng trong quá trình lắng đọng cho ngành công nghiệp bán dẫn và khắc một lớp bề mặt cách xa vật liệu để xác định thành phần hóa học của nó.phức tạp và đắt tiền, thiết bị phun không phải.Các máy phun có thể là các thiết bị tương đối đơn giản hoạt động theo các nguyên tắc vật lý đã được thiết lập và thường thiếu các bộ phận chuyển động hoặc nhu cầu bảo trì phức tạp.Chúng có kích thước từ các thiết bị đầu bảng nhỏ đến các mô hình sàn lớn.

lắng đọng hơi vật lý là một phương pháp thường xuyên được sử dụng trong thiết kế máy phun.Vật liệu lắng đọng được chuyển đổi thành hơi trong buồng phun dưới áp suất thấp, thường là chân không một phần.Hơi ngưng tụ lên vật liệu chất nền trong buồng để tạo thành một màng mỏng.Bộ phim này có thể chỉ có một vài lớp nguyên tử hoặc phân tử dày, và sẽ dày lên theo tỷ lệ trực tiếp với quá trình phun được tiếp tục trong bao lâu.Các yếu tố khác về độ dày màng mỏng bao gồm khối lượng của từng vật liệu liên quan và mức năng lượng của các hạt lớp phủ, có thể tích điện từ hàng chục vôn electron lên tới hàng ngàn nguyên tử được gọi là các ion cũng được sử dụng bằng cách phunMáy trong một quá trình được gọi là cường độ tiềm năng.Các vật liệu phun được cung cấp một điện tích ion mà sau đó nó mất khi nó tác động đến bề mặt đích.Liên quan đến quá trình này là khắc ion phản ứng (RIE), sử dụng các vật liệu ion tự nhiên trong nghiên cứu phổ khối ion thứ cấp (SIMS), để phân tích sự hiện diện của các nguyên tố vi lượng trong vật liệu.Xử lý SIMS tĩnh sẽ tăng tốc đến mức tốt đến mức chỉ một phần mười của một lớp đơn vị nguyên tử sẽ được loại bỏ khỏi bề mặt đích.Do đó, đây là một công cụ hữu ích khác trong nghiên cứu công nghệ nano cũng như máy phun cho SEM.

Các ứng dụng khác cho máy phun bao gồm lớp phủ phẳng, acrylic và các loại nhựa khác, cũng như gốm sứ và tinh thể khác ngoài silicon.Chúng cũng có thể được sử dụng như một phương pháp rất tốt để làm sạch và đánh bóng các thành phần tinh tế.Đồ trang sức và đồ ăn đắt tiền như dao kéo bằng vàng cũng có thể trải qua một sự lắng đọng, như có thể làm phim vàng và nhôm chuyên dụng.